[发明专利]太阳能集热管外玻璃管内壁连续镀膜装置及其镀膜工艺

权利要求书

1.一种太阳能集热管外玻璃管内壁连续镀膜装置，包括抽真空装置，其特征在于：抽真空装置与外玻璃管的管口端相连，外玻璃管的圆头端设有玻璃管支撑装置，外玻璃管的下部设有与其相连的可移动高频装置，外玻璃管内设有与高频装置相对应的镀膜装置。

2.根据权利要求1所述的太阳能集热管外玻璃管内壁连续镀膜装置，其特征在于：所述抽真空装置通过其上的玻璃管锁紧装置与外玻璃管的管口端相连。

3.根据权利要求1所述的太阳能集热管外玻璃管内壁连续镀膜装置，其特征在于：所述高频装置设置于其下部的移动拖车上，移动拖车通过线路与控制系统相连，高频装置的上表面固定有永磁体固定托架和至少一个感应线圈，永磁体固定托架上面设有至少一个永磁体，永磁体紧贴于外玻璃管外壁下部，感应线圈套在外玻璃管外壁上，且永磁体的上表面、玻璃管的外壁下部最低点和感应线圈内圈水平最低点在同一水平面上。

4.根据权利要求3所述的太阳能集热管外玻璃管内壁连续镀膜装置，其特征在于：所述感应线圈为圆形或半圆形结构。

5.根据权利要求1所述的太阳能集热管外玻璃管内壁连续镀膜装置，其特征在于：所述镀膜装置包括蒸发舟，蒸发舟与高频装置上的感应线圈相对应，蒸发舟的开口与需要镀膜的外玻璃管内壁区域相对应，蒸发舟设置于槽型体中，槽型体的两端设有圆形挡板，槽型体的底部成圆弧形，其中一挡板外侧与一拖动杆焊接，拖动杆的另一端设有磁力牵引模块，磁力牵引模块与高频装置上的永磁体相对应。

6.根据权利要求1所述的太阳能集热管外玻璃管内壁连续镀膜装置，其特征在于：所述玻璃管支撑装置为一倒L形支撑杆。

7.一种利用太阳能集热管的玻璃管内壁连续镀膜装置的镀膜工艺，其特征在于包括以下步骤：

1）将所要蒸镀的材料放进镀膜装置的蒸发舟内；

2）将洗净的外玻璃管圆头端放置到玻璃管支撑装置上面，将装配好材料的镀膜装置装进外玻璃管内，使镀膜装置的磁力牵引模块与高频装置的永磁体上下位置一致，外玻璃管的管口端插入抽真空装置的玻璃管锁紧装置锁紧；

3）打开抽真空装置，对外玻璃管的内腔进行排气处理，真空度达到5×10^-3pa；

4）当真空度达到设计要求时，开启高频装置，通过感应线圈对蒸发舟加热，同时开启移动拖车控制系统，拖动高频装置和镀膜装置沿外玻璃管的轴向做往复运动；

5）镀膜装置和高频装置同步运动，感应线圈产生的高频磁场使蒸发舟内的蒸镀物料产生强大的涡流损失和磁滞损失升温，直至气化蒸发，蒸镀物料被蒸镀到挡板未遮挡的外玻璃管需要镀膜区域的内壁上，冷却后黏附于外玻璃管需要镀膜区域的内壁上，沉积形成反射膜层；

6）待整支外玻璃管需要镀膜区域内壁反射膜层镀制完毕后，关闭高频装置停止加热，移动移动拖车将镀膜装置拖动至非镀膜区冷却；

7）待镀膜装置冷却到200-250℃，关闭抽真空装置，向外玻璃管内充空气，当气压达到一个标准大气压后，将玻璃管锁紧装置松开，将外玻璃管和镀膜装置从抽真空装置上卸载下来，随后用手将靠近外玻璃管管口端的镀膜装置取出，即完成蒸镀操作。