[发明专利]一种制作云纹光栅的方法和纳米压印设备

权利要求书

1.一种制作云纹光栅的方法，其特征在于该方法包括如下步骤：

1)制作镍光栅膜：将带有光栅微结构的导电母板作为阴极，镍金属作为阳极，在氨基硫酸镍溶液中电铸，得到0.5mm～1mm厚的镍光栅膜；

2)制作镍基金属光栅模板：通过双面胶膜将电铸得到的镍光栅膜粘接到基板上，得到镍基金属光栅模板；所述的基板为平整的普通玻璃或者石英玻璃，所述的双面胶膜为3M双面胶膜；

3)将试件表面抛光，清洗、烘干后，在试件表面上旋涂电子抗蚀剂，烘干定胶后，将镍基金属光栅模板覆盖在试件表面上；

4)采用纳米压印设备进行压印：将覆盖有镍基金属光栅模板的试件放入设备中，通过温控设备升温，达到电子抗蚀剂的转变温度T_g以上后施加1～4MPa压力，然后将温度降低至室温后卸压，将镍基金属光栅模板与试件分离，然后在试件表面的电子抗蚀剂上镀一层10～50nm厚的反光金属铝膜，就得到云纹光栅。

2.一种制作云纹光栅的纳米压印设备，其特征在于：所述的纳米压印设备包括气囊(1)、加热板(3)、上压板(5)、压力传感器(6)、真空泵(10)、压气机(11)以及控制器(9)；所述的加热板(3)通过隔热板(2)设置在气囊(1)的上面；在所述的加热板(3)上面固定有导轨(4)，所述的上压板(5)沿导轨实现上下滑动，在上压板(5)的上面设有压力传感器(6)，该压力传感器通过信号线与所述的控制器(9)相连接；所述的气囊(1)、加热板(3)、上压板(5)和压力传感器(6)被放置在密闭空腔(16)内；所述的真空泵(10)通过第一高压管路(13)与密闭空腔(16)连通，所述的压气机(11)通过第二高压管路(14)与气囊(1)连接，所述的第一高压管路(13)和第二高压管路(14)之间通过带有截止阀(12)的第三高压管路(15)相连接；所述的控制器(9)分别通过控制线路与所述的真空泵(10)、压气机(11)和加热板(3)连接。

3.按照权利要求2所述的一种制作云纹光栅的方法和纳米压印设备，其特征在于：所述的上压板(5)内设有冷却水管，该冷却水管的两端分别与设置在密闭空腔(16)外的水泵(8)和水槽(7)相连。

4.按照权利要求2所述的一种制作云纹光栅的方法和纳米压印设备，其特征在于：所述的加热板(3)采用电加热装置，在加热板内安装有温度传感器，该温度传感器通过信号线与控制器(9)连接。

5.按照权利要求2所的一种制作云纹光栅的方法和纳米压印设备，其特征在于：所述的加热板(3)和上压板(5)的直径为80～100mm，表面的粗糙度Ra≤0.4。

6.按照权利要求2所述的一种制作云纹光栅的方法和纳米压印设备，其特征在于：所述密闭空腔(16)内的真空度≤0.03MPa。