[发明专利]存储器元件有效
申请号: | 201010198452.7 | 申请日: | 2010-06-07 |
公开(公告)号: | CN101989604A | 公开(公告)日: | 2011-03-23 |
发明(设计)人: | 廖忠志 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/11 | 分类号: | H01L27/11;H01L23/528 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 姜燕;邢雪红 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 存储器 元件 | ||
技术领域
本发明涉及半导体元件,尤其涉及用于存储器单元,特别是静态随机存取存储器单元的结构及布局设计。
背景技术
静态随机存取存储器(SRAM)广泛地用于集成电路。嵌入式静态随机存取存储器(embedded SRAM)特别常用于高速通信(high speed communication)、图像处理、及系统单芯片(system on chip,SOC)的应用。静态随机存取存储器单元(SRAM cells)具有不需更新(refresh)便能保存数据的优点。一般,SRAM单元包括两个传输栅晶体管(pass-gate transistors),通过传输栅晶体管可自SRAM单元读取位(bit),或将位写入SRAM单元。这种形式的SRAM单元称为单端口(single port)SRAM单元。另有一种形式的SRAM单元称作双端口(dual port)SRAM单元,其包括四个传输栅晶体管。
图1显示一种公知的八晶体管双端口SRAM单元,其包括上拉晶体管PU-1与PU-2及下拉晶体管PD-1与PD-2。传输栅晶体管PG-1与PG-3形成双端口SRAM单元的第一端口(port A)。传输栅晶体管PG-2与PG-4形成双端口SRAM单元的第二端口(port B)。传输栅晶体管PG-1与PG-3的栅极由字线port-A WL控制,而传输栅晶体管PG-2与PG-4由字线port-B WL控制。由上拉晶体管PU-1与PU-2及下拉晶体管PD-1与PD-2所形成的闩(latch)存储一位(bit)。所存储的位可通过第一端口(port A)使用位线port-A BL及port-ABLB而读取,或者可通过第二端口(port B)使用位线port-B BL及port-B BLB而读取。相反地,位可通过第一端口(port A)或第二端口(port B)写入SRAM单元。
由于具有双端口,存储于SRAM单元的位可同时自第一端口(port A)及第二端口(port B)读取。如此,可允许不同应用平行运作(parallel operation)。另外,假如一第一SRAM单元与一第二SRAM单元位于相同的列(column)或相同的行(row),对于第一SRAM单元的读取运作也可与对第二SRAM单元的写入运作同时进行。
照例,为了支援平行运作,其中两端口可同时处于“开启(on)”状态,下拉晶体管PD-1与PD-2均需承受两次每一传输栅晶体管PG-1至PG-4的驱动电流(drive current)。因此,在公知设计中,下拉晶体管PD-1与PD-2设计成传输栅晶体管PG-1至PG-4的两倍宽。一般,会使用L型或T型的有源区来提供此不均匀的元件尺寸。图2显示在一常见有源区中,晶体管PG-1及PD-1的公知布局。点状区域是一有源区,而颜色较暗区是多晶硅栅极线(gate polysilicon lines)。有源区是L型,具有用以形成下拉晶体管PD-1的宽部分,其宽度为窄部分的两倍或更宽,窄部分用以形成传输栅晶体管PG-1。由于光学效应,宽部分与窄部分之间的交叉区I是圆的。假如发生对准误差,而传输栅晶体管PG-1的多晶硅栅极向上移,传输栅晶体管PG-1的实际栅极宽度将大于需求宽度。因此,传输栅晶体管PG-1与传输栅晶体管PG-2至PG-4之间会发生不协调(mismatching),其接着将影响SRAM单元的效能。
另一附加问题是交叉区I处的电流拥挤效应(current crowding)。在交叉区I中,电流并非均匀分布。因此,下拉晶体管PD-1与PD-2的一些部分可能具有较其他部分高的电流密度。结漏电流(junction leakage)也是一个问题。
因此,业界急需改良的SRAM单元,其可合并双端口以具备与平行运作有关的优点。
发明内容
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的