[发明专利]半导体器件有效

专利信息
申请号: 201010198433.4 申请日: 2010-06-07
公开(公告)号: CN101908544A 公开(公告)日: 2010-12-08
发明(设计)人: 舛冈富士雄;中村广记 申请(专利权)人: 日本优尼山帝斯电子株式会社
主分类号: H01L27/088 分类号: H01L27/088;H01L27/11;H01L29/06;H01L29/36;H01L29/423;H01L21/8244;H01L21/768
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 郑小军;冯志云
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 半导体器件
【权利要求书】:

1.一种半导体器件,其特征在于,具备第1反相器、第2反相器、第1选择晶体管及第2选择晶体管,其中,

该第1反相器配置在第1行第1列,且具备:

第1岛状半导体层;

第1栅极绝缘膜,在所述第1岛状半导体层的周围上至少接触一部分;

第1栅极电极,其第1面接触于所述第1栅极绝缘膜;

第2栅极绝缘膜,其第1面接触于所述第1栅极电极的第2面;

第1弧状半导体层,以接触于所述第2栅极绝缘膜的第2面的一部分的方式形成;

第1导电型的第1高浓度半导体层,配置在所述第1岛状半导体层的上部;

第1导电型的第2高浓度半导体层,配置在所述第1岛状半导体层的下部;

第2导电型的第1高浓度半导体层,配置在所述第1弧状半导体层的上部;及

第2导电型的第2高浓度半导体层,配置在所述第1弧状半导体层的下部;

该第2反相器配置在第2行第2列,且具备:

第2岛状半导体层;

第3栅极绝缘膜,在所述第2岛状半导体层的周围上至少接触一部分;

第2栅极电极,其第1面接触于所述第3栅极绝缘膜;

第4栅极绝缘膜,其第1面接触于所述第2栅极电极的第2面;

第2弧状半导体层,以接触于所述第4栅极绝缘膜的第2面的一部分的方式形成;

第1导电型的第3高浓度半导体层,配置在所述第2岛状半导体层的上部;

第1导电型的第4高浓度半导体层,配置在所述第2岛状半导体层的下部;

第2导电型的第3高浓度半导体层,配置在所述第2弧状半导体层的上部;及

第2导电型的第4高浓度半导体层,配置在所述第2弧状半导体层的下部;

该第1选择晶体管配置在第1行第2列,且具备:

第3岛状半导体层;

第5栅极绝缘膜,在所述第3岛状半导体层的周围上至少接触一部分;

第3栅极电极,其一部分接触于所述第5栅极绝缘膜;

第2导电型的第5高浓度半导体层,配置在所述第3岛状半导体层的上部;及

第2导电型的第6高浓度半导体层,配置在所述第3岛状半导体层的下部;

该第2选择晶体管配置在第2行第1列,且具备:

第4岛状半导体层;

第6栅极绝缘膜,在所述第4岛状半导体层的周围上至少接触一部分;

第4栅极电极,其一部分接触于所述第6栅极绝缘膜;

第2导电型的第7高浓度半导体层,配置在所述第4岛状半导体层的上部;及

第2导电型的第8高浓度半导体层,配置在所述第4岛状半导体层的下部。

2.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,

所述第1栅极绝缘膜包围所述第1岛状半导体层的周围;

所述第1栅极电极包围所述第1栅极绝缘膜的周围;

所述第3栅极绝缘膜包围所述第2岛状半导体层的周围;

所述第2栅极电极包围所述第3栅极绝缘膜的周围;

所述第5栅极绝缘膜包围所述第3岛状半导体层的周围;

所述第3栅极电极包围所述第5栅极绝缘膜的周围;

所述第6栅极绝缘膜包围所述第4岛状半导体层的周围;

所述第4栅极电极包围所述第6栅极绝缘膜的周围。

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