[发明专利]用直流电弧法制取Al纳米蝌蚪的方法无效
| 申请号： | 201010196745.1 | 申请日： | 2010-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN101880857A | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 李志杰;孙维民;史桂梅;权善玉;贺连龙 | 申请（专利权）人： | 沈阳工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16 |
| 代理公司： | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 | 代理人： | 宋铁军 |
| 地址： | 110178 辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直流 电弧 法制 al 纳米 蝌蚪 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用直流电弧法制取Al纳米蝌蚪的方法，其采用常规物理法制备所需的工具，其特征在于：该方法的具体步骤如下：
①、把待蒸发的纯Al柱置于阳极上，钨棒作为阴极；将工作室利用抽真空的方法抽成气压为10-1Pa的环境；
②、用氩气将工作室内冲洗两次，然后再充入氢氩混合气体，氢氩混合气体的总压强为0.95×105Pa，其中氩气与氢气的压强比为PAr∶PH2＝1∶1；
③、启动循环泵，调节“②”步骤中氢氩混合气体流量为2×10-3m3/s～8×10-3m3/s；打开循环水和电源，使电弧电流为200A，电压为30V，点弧时间1～4h；
④、停弧后用1×104Pa～2×104Pa空气和8x104Pa氩气的混合气体循环钝化1～4h，停1h后充入1×104Pa空气，再循环钝化1h，制取Al纳米蝌蚪。
2.根据权利要求1所述的用直流电弧法制取Al纳米蝌蚪的方法，其特征在于：制备出的Al纳米蝌蚪头部越小，尾长与头径比越大，Al的头部的直径分布在15～110nm左右，平均粒径在71nm左右。
3.根据权利要求1所述的用直流电弧法制取Al纳米蝌蚪的方法，其特征在于：待蒸发的纯Al柱的直径(φ)为16mm、长为200mm；钨棒的直径(φ)为5mm、长150mm；所述用来冲洗的氩气的纯度为99.99％；所述氢氩混合气体中的氢和氩的纯度均为99.95％。
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