[发明专利]一种超精密平台调平装置

权利要求书

1.一种超精密平台调平装置，其特征在于所述调平装置由槽形底座（1）、水平垂直调整机构（2）、平台（9）、水平垂直调整定位机构（10）和垂直定位机构（18）构成，所述平台（9）由“00”级大理石平板制成，水平垂直调整机构（2）由第一斜垫（3）、第一底座（4）、第一调整机构（24）、第一平面垫块（7）和第一球头调整垫块（8）构成，所述水平垂直调整定位机构（10）由第一锁紧件（11）、第二球头调整垫块（12）、第二平面垫块（13）、第二调整机构（25）、第二底座（16）和第二斜垫（17）构成，所述垂直定位机构（18）由第三平面垫块（19）、第三球头调整垫块（20）和第二锁紧件（21）构成，槽形底座（1）的两个上端面中的一个上装有第二底座（16），槽形底座（1）的两个上端面中的剩余一个上装有第一底座（4）和第三平面垫块（19），第一底座（4）、第二底座（16）和第三平面垫块（19）呈等腰三角形布置；

所述第一底座（4）和第二底座（16）均为L形，L形第一底座（4）的水平板的上端面为斜面，第一底座（4）的斜面靠近槽形底座（1）的槽的一端的高度小于第一底座（4）的斜面另一端的高度，第一斜垫（3）设置在第一底座（4）的斜面上，所述第一斜垫（3）和第一底座（4）通过第一调整机构（24）连接，所述第一平面垫块（7）设置在第一斜垫（3）的上端面上，所述第一球头调整垫块（8）的球面与第一平面垫块（7）的上端面接触，所述第一球头调整垫块（8）的上端面与平台（9）的下端面固接；

L形第二底座（16）的水平板的上端面为斜面，第二底座（16）的斜面靠近槽形底座（1）的槽的一端的高度小于第二底座（16）的斜面另一端的高度，第二斜垫（17）设置在第二底座（16）的斜面上，第二斜垫（17）和第二底座（16）通过第二调整机构（25）连接，第二平面垫块（13）上设有与第二球头调整垫块（12）相匹配的第一凹槽（13-1），所述第二球头调整垫块（12）装在第一凹槽（13-1）内，所述第二球头调整垫块（12）的上端面与平台（9）的下端面固接，所述第二球头调整垫块（12）、第二平面垫块（13）、第二斜垫（17）和第二底座（16）相对应处设有第一通孔（22），所述第一锁紧件（11）穿过平台（9）和第一通孔（22）与槽形底座（1）连接；

所述第三平面垫块（19）设在槽形底座（1）上，所述第三平面垫块（19）上设有V形凹槽（19-1），所述第三球头调整垫块（20）的球头装在V形凹槽（19-1）内，所述第三球头调整垫块（20）的上端面与平台（9）的下端面固接，所述第三球头调整垫块（20）、第三平面垫块（19）相对应处设有第二通孔（23），所述第二锁紧件（21）穿过平台（9）和第二通孔（23）与槽形底座（1）连接。

2.根据权利要求1所述一种超精密平台调平装置，其特征在于所述第一调整机构（24）由第一螺帽（5）和第一螺杆（6）构成，所述第一螺杆（6）穿过第一底座（4）的竖直板和第一斜垫（3）并将二者连接在一起，位于第一底座（4）外的第一螺帽（5）与第一螺杆（6）旋接。

3.根据权利要求1或2所述一种超精密平台调平装置，其特征在于所述第二调整机构（25）由第二螺帽（14）和第二螺杆（15）构成，所述第二螺杆（15）穿过第二底座（16）的竖直板和第二斜垫（17）将二者连接在一起，位于第二底座（16）外的第二螺帽（14）与第二螺杆（15）旋接。