[发明专利]一种卧式高温真空镀膜生产线

说明书

技术领域

本发明公开了一种卧式高温真空镀膜生产线，属于机械制造、电子喷镀、真空技术领域。

背景技术

镀膜玻璃分为常温真空镀膜玻璃和高温真空镀膜玻璃，应用于建筑物外墙上的镀膜玻璃，通常是常温真空镀膜玻璃；太阳能电池板用的镀膜玻璃(TCO)，通常是高温真空镀膜玻璃。现有技术中，真空镀膜生产线分为卧式真空镀膜生产线和立式真空镀膜生产线。两种真空镀膜生产线是在同一水平平面上分布有多个真空箱体，被镀玻璃在传送装置的输送下，经过每一个真空箱体进行处理，实现表面镀膜；现有技术中，卧式真空镀膜生产线的传送装置是采用平行设置的多个橡胶辊组成的输送轨道实现玻璃的传送，玻璃传送时与真空箱体底面处于相互平行的状态；卧式真空镀膜生产线由于.采用橡胶辊传送玻璃，其承载量大，传送平稳，对玻璃尺寸大小没有限制，产量高；但由于橡胶辊的耐高温性能较差，因此，现有卧式真空镀膜生产线只能用于生产常温真空镀膜玻璃。而立式真空镀膜生产线的传送装置则是底部采用步进电机驱动、上部采用磁导向的结构，实现玻璃的传送；玻璃传送时与真空箱体底面处于相互垂直的状态；所述的磁导向装置是在承载玻璃的基片架上部设置磁钢，然后，使基片架上部卡装在两侧壁上设置有多组磁导向单元的U形槽中，利用磁钢同极排斥的作用，实现对基片架无接触定位、导向目的，具有传送平稳、耐高温、无污染、所镀膜层均匀性高的优点；但是，由于传送装置上部采用磁导向结构保证玻璃在真空镀膜箱体中的竖向位置精度，也就是采用磁导向结构保证玻璃与电子枪之间的位置精度，实际使用中存在以下问题：首先，无接触磁导向U形槽与承载玻璃的基片架之间存在一定的间隙，虽然利用磁钢同极排斥的作用，可以对基片架无接触定位、导向；由于玻璃在运行时，不可避免的会发生晃动，当玻璃高度较大、自身重量也较大时，其晃动的幅度更大，此时，磁导向结构无接触定位、导向的即时定位精度明显降低，从而，影响所镀膜层均匀性。因此，现有立式真空镀膜生产线通常只能应用于小尺寸TCO镀膜玻璃的生产，一方面，产量有限，另一方面，制约了太阳能光伏产业的发展。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术之不足，提供一种结构合理、生产效率高、玻璃传送平稳、耐高温、镀膜质量好、节能、适用于大尺寸玻璃表面高温真空镀膜的卧式高温真空镀膜生产线。

本发明是采用下述方案实现的：一种卧式高温真空镀膜生产线，包括机架、四个真空缓冲箱体和至少一个真空镀膜箱体、基片架传送机构、自动装卸片机构，所述至少一个真空镀膜箱体设置在所述机架上部中间，所述四个真空缓冲箱体分为两组，分别设置在所述真空镀膜箱体两端的机架上，所述真空缓冲箱体之间及真空缓冲箱体与真空镀膜箱体之间设置有气动转板阀，在所述机架两端各设有一个自动装卸片机构；在所述机架的下部及所述真空缓冲箱体和真空镀膜箱体底部分别设有与所述自动装卸片机构驳接的基片架传送机构；所述真空镀膜箱体内还设有靶枪、加热器。

本发明中，所述真空缓冲箱体上连接有抽真空罗茨泵或直联泵。

本发明中，所述真空镀膜箱体上连接有抽真空分子泵，顶部设有靶门或抽气口门。

本发明中，所述加热器设置在所述真空镀膜箱体中的所述基片架传送机构上、下方，在所述加热器与所述真空镀膜箱体之间设有至少两层镜面朝向所述加热器的镜面反射板。

本发明中，所述基片架传送机构包括传动电机、同步长轴、传动轴、同步带、同步轮、摩擦轮，所述同步长轴安装于所述真空镀膜箱体两侧箱板之间并由所述传动电机驱动，所述同步长轴两端各设有一个同步轮；所述传动轴为多个，平行均布在所述真空镀膜箱体两侧箱板上，所述多个传动轴的轴线处于同一直线上；所述每一个传动轴的一端设有所述同步轮，两两相邻的传动轴之间通过所述同步带驱动，所述每一个传动轴的另一端设有所述摩擦轮；所述同步长轴两端设置的同步轮分别通过同步带驱动设于真空镀膜箱体该端侧箱板上的传动轴；所述摩擦轮外圆周面上设有与所述摩擦轮同轴线的导向圆环槽或导向圆环台阶，所述导向圆环槽的横截面为半圆弧形，所述圆环台阶的横截面为1/4圆弧形。