[发明专利]一种准分子激光微加工系统的光路调节架

权利要求书

1.一种准分子激光微加工系统的光路调节架，该调节架由可固定于光学平台上的钢架构成，

其特征在于：该钢架至少有两层结构，高度80cm以上，顶层有向外凸出的悬台；底层设有螺丝孔，可使螺钉(10)穿过螺丝孔后拧入光学平台螺纹孔中，顶层设有光具导轨(7)至悬台；

在悬台处设有向下的通光孔(6)，通光孔(6)上设有将水平光线反射成垂直光线穿过通光孔(6)的反射镜；通光孔(6)下设置有悬挂平台(11)，悬挂平台(11)中心为方形口(12)，其上安装物镜(16)，且物镜(16)通过竖直光路调整器安装在悬挂平台(11)上；该竖直光路调整器包括平移调整台(13)和旋转调整台(14)；

所述平移调整台(13)为中心设有透光孔的方形平台，平移调整台(13)置于悬挂平台(11)上面，悬挂平台(11)四边的中部设有向上折起的边沿——耳，在各耳中垂直耳的方向通过螺孔设长细牙螺杆(17)，四面的长细牙螺杆(17)顶住平移调整台(13)的四边侧面，长细牙螺杆(17)通过旋转移动，来调节平移调整台(13)的位置；平移调整台(13)的四角处分别设有一个竖直方向胀紧器(15)顶在平移调整台(13)和钢架的顶层之间，来固定平移调整台(13)的位置；

所述旋转调整台(14)为中心设有透光孔的方形平台，安装在平移调整台(13)下面，且位于悬挂平台(11)的方形口(12)中；旋转调整台(14)用一对相邻的垫有碟片弹簧(19)的连接螺栓与平移调整台(13)连接，且连接处夹有一个钢球(20)；

在旋转调整台上取两个相距较远的位置，且这两个位置距钢球(20)也较远，在对应这两个位置的平移调整台(13)上通过螺孔设两个短细牙螺杆(18)，两个短细牙螺杆(18)顶在旋转调整台(14)上，通过旋转短细牙螺杆(18)可调整平移调整台(13)与旋转调整台(14)在短细牙螺杆(18)处的间距，来调整旋转调整台(14)以钢球(20)为轴点的转动；

物镜(16)固定在旋转调整台(14)的透光孔下面。

2.如权利要求1所述的一种准分子激光微加工系统的光路调节架，其特征在于：所述竖直方向胀紧器(15)由螺套、螺栓、钢珠(22)组成，螺栓上下两头各套有一个螺套，上下螺套顶端各有一个钢珠(22)；螺栓和螺套上设有横向的通孔(23)，将细棍插入通孔(23)中拧动螺栓及螺套可以对螺栓和螺套进行伸缩调节。

3.如权利要求1或2所述的一种准分子激光微加工系统的光路调节架，其特征在于：所述光具导轨(7)采用大理石衬底的光具导轨。

4.如权利要求1-3中任一项所述的一种准分子激光微加工系统的光路调节架，其特征在于：所述钢架由上层槽钢(1)，中层槽钢(2)，底层槽钢(3)及将三层槽钢连接在一起的长螺栓(4)构成，三层槽钢平行间隔设置，其间隔通过长螺栓(4)中的螺母(5)的位置调节；其中，中层槽钢(2)和底层槽钢(3)长度相同，上层槽钢(1)比中层槽钢(2)和底层槽钢(3)长，长出部分形成悬台，在悬台的中心位置有一个圆形通光孔(6)，通光孔(6)正上方架设反射镜；底层槽钢(3)中轴线方向上设有一系列方形孔(8)，方形孔(8)的边长大于光学平台台面上相邻两个螺纹孔之间的距离，采用大于方形孔(8)跨度的压铁(9)和穿过压铁(9)并固定在光学平台螺纹孔中的螺钉(10)将底层槽钢(3)紧压固定于光学平台上；所述悬挂平台(11)为U形板，U形板两侧壁通过螺钉固定在形成悬台的上层槽钢(1)两侧。

5.如权利要求4所述的一种准分子激光微加工系统的光路调节架，其特征在于：所述长螺栓(4)采用方头长螺栓，螺栓头的一条边正好与槽钢的一个槽边紧密接触。