[发明专利]一种硅单晶炉热场系统的改进方法

权利要求书

1.一种硅单晶炉热场系统的改进方法，所述热场系统位于硅单晶炉炉腔内，包括石墨电极、加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层、埚托和托杆；其特征在于，所述的改进在维持所述硅单晶炉炉腔结构下进行，包括：

(1)加大所述保温筒的直径，当所述保温筒外侧设置保温层后，所述保温层与所述硅单晶炉炉腔内壁间留有一定间隙，间隙小但不相接触，使热场系统具有良好的保温性能；

(2)加大所述加热器的直径，使其与所述保温筒相适应；

(3)加大所述坩埚的直径和高度，使其与所述加热器相适应，并所述坩埚的上端面设置于所述加热器的上端面以下；

(4)加大所述导流筒的直径和高度，并设置所述导流筒的下端面恰好在所述坩埚的上端面以下；

(5)相应地加大所述埚托直径和厚度，使其与所述坩埚相适应；

(6)相应地调整所述托杆的尺寸；

(7)相应地调整所述石墨电极的直径和高度。

2.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉热场系统的改进方法，其特征在于，所述保温层采用碳纤维固体毡为保温材料。

3.根据权利要求1或2所述的一种硅单晶炉热场系统的改进方法，其特征在于，所述保温层设置为上保温套、中保温套和下保温套。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种硅单晶炉热场系统的改进方法，其特征在于，在所述保温盖的上面设有挡圈，以阻挡且减少保护气体向保温筒外侧与硅单晶炉炉腔内壁间的空间流动。