[发明专利]除尘装置以及除尘系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种除尘装置以及除尘系统。

背景技术

通常，在薄型显示器等的制造中，必须要使玻璃或塑料等薄基板的表面特别清洁。通过在所谓净化室内从清洁头相对薄基板喷出气体并立即吸入，而且在上述气体中外加超声波等，进行从基板表面上除去极微细的粉尘的方法(例如参照专利文献1)。

但是，在表示现有技术的图10以及专利文献1中，鼓风机31设置在净化室32的外侧33，通过气体排放配管34、气体吸引配管35连接，气体排放配管34中途的过滤箱36配设在鼓风机31的附近、净化室32的外侧33。

若对现有的图10进一步进行说明，则通常从鼓风机31排放的气体中含有过多的异物，由于不能够原封不动地在净化室32那样的(气体清洁度被控制)空间内使用，所以使其穿过过滤箱36内的HEPA过滤器37除去亚微细粒级的异物，经由挠性软管34A···，金属配管34B··等构成的气体排放配管34向清洁头38供给。

从清洁头38的下表面相对图10中双点化线所示的基板39喷出的清洁气体从并列设置在该下表面的吸引狭缝吸引，除去附着在基板39的表面上的粉尘(异物)，经由气体吸引配管35，并经由鼓风机31附近的其他过滤器40而向鼓风机31的吸入部流入。

【专利文献1】特公平7-55303号公报

但是，在图10所示的现有的除尘系统(除尘配管系统图)中，从鼓风机31如箭头a所示排放的气体穿过HEPA过滤器37而能够充分净化，但内存在该图中粗虚线所示的部位的异物除了通过装配后的喷吹而除去之外别无良策。即，预先内存在粗虚线所示的挠性软管34A···，金属配管34B···，清洁头38内的异物要通过数日～十数日喷吹才能够完全除去。进而，每次更换挠性软管34A等也需要同样长时间的喷吹。假设未充分喷吹即结束，则既污染净化室32的环境也污染制品(基板39)。

发明内容

因此，本发明所涉及的除尘装置是在清洁头壳体的加压气体流入口一侧具备内有HEPA过滤器的过滤箱。

而且，在清洁头壳体的加压气体流入口一侧装卸自如地安装有内有HEPA过滤器的过滤箱。而且，壳体和过滤箱是一体成型的。

而且，本发明所涉及的除尘系统是在清洁头的壳体的加压气体流入口一侧具备内有HEPA过滤器的过滤箱的除尘装置设置在净化室的内侧，并且在净化室的外侧设置鼓风机，通过循环气体配管连接该鼓风机和上述除尘装置。

而且，在清洁头的壳体的加压气体流入口一侧装卸自如地安装有内有HEPA过滤器的过滤箱的除尘装置设置在净化室的内侧，并且在净化室的外侧设置鼓风机，通过循环气体配管连接该鼓风机和上述除尘装置。

而且，壳体和过滤箱是一体成型的。

根据本发明，能够省略HEPA过滤器和清洁头之间的所有配管，仅通过清洁头自身的(装配之后的)喷吹进行的异物除去即可，能够实现显著地缩短喷吹时间。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的除尘系统的实施方式的结构说明图。

图2是表示除尘装置的实施方式的主视图。

图3是俯视图。

图4是图2的G-G剖面图。

图5是主要部分的主视图。

图6是主要部分的仰视图。

图7是图5的J-J剖面图。

图8是表示除尘装置的其他实施方式的主视图。

图9是图8的N-N剖面图。

图10是表示现有例子的配管系统图。

附图标记说明：

1：清洁头

1A：壳体

3：HEPA过滤器

4：过滤箱

5：鼓风机

10：除尘装置

15：循环气体配管

42：加压气体流入口

C：净化室

具体实施方式

以下，基于图示的实施方式对本发明进行详细说明。

在图1中，C表示净化室，在该净化室C内配设有清洁头1，通过从清洁头1喷出以及吸入的气体的喷流、或者进而外加超声波或产生离子而从薄型显示器等玻璃、塑料、金属等薄基板2的表面上除去粉尘等异物而对其进行清洗。而且，在该清洁头1的壳体1A的加压气体流入口一侧设置内有HEPA过滤器3的过滤箱4，(作为带有HEPA过滤器的单元)构成除尘装置10，配设在上述净化室C的内侧。

在净化室C的外侧配设气体循环驱动单元11。驱动单元11例如通过在基座12上设置鼓风机5和阀类6、内有PRE过滤器7的过滤箱8、电气控制器9、以及成为排放配管的一部分的柔性软管13、成为吸引配管的一部分的柔性软管14等构成。