[发明专利]三自由度精密定位工作台

权利要求书

1.一种三自由度精密定位工作台，包括工作平台(5)和放大基座(1)，其特征在于：所述工作平台(5)与放大基座(1)之间通过三个圆柱杆(4)连接，所述的放大基座(1)为三组二级放大机构的互相垂直交叉组合而成。

2.根据权利要求1所述的三自由度精密定位工作台，其特征在于：所述的圆柱杆(4)由弹簧(3)推动，并受到弹簧(3)的预紧力，圆柱杆(4)可随弹簧(3)的伸缩在放大基座(1)中移动。

3.根据权利要求1所述的三自由度精密定位工作台，其特征在于：所述的工作平台(5)在三个相邻面开有互相垂直的内槽。

4.根据权利要求1所述的三自由度精密定位工作台，其特征在于：所述的二级放大机构是微位移放大机构。