[发明专利]一种基于生物材料表面结构的纳米压印模板及其制备方法

权利要求书

1.一种基于生物材料表面结构的纳米压印模板，其特征在于：包括表面具有纳米结构的生物材料，在其具有纳米结构的那一表面覆盖有厚度为1～3μm的无机薄膜。

2.如权利要求1所述的基于生物材料表面结构的纳米压印模板，其特征在于：所述生物材料为荷叶或竹叶。

3.如权利要求1或2所述的基于生物材料表面结构的纳米压印模板，其特征在于：无机薄膜为铜膜或硅膜。

4.一种制备如权利要求1所述的基于生物材料表面结构的纳米压印模板的方法，其特征在于：以表面具有纳米结构的生物材料为基底，以金属材料或硅类无机材料为溅射靶，以惰性气体为工作气体，利用离子束溅射沉积法在基底具有纳米结构的那一表面沉积厚度为1～3μm的无机薄膜，沉积条件为：屏极电压1780～1820V，阳极电压为68～72V，加速极电压为98～102V，阴极放电电流12.3～12.7A，束流45～55mA，惰性气体流为8.7～8.9sccm，室内压强2.3×10^-2～2.5×10^-2Pa，沉积时间为235～245min，基底温度保持在31～35℃。

5.如权利要求4所述的制备基于生物材料表面结构的纳米压印模板的方法，其特征在于沉积条件为：屏极电压1800V，阳极电压为70V，加速极电压为100V，阴极放电电流12.5A，束流50mA，惰性气体流为8.8sccm，室内压强2.4×10^-2Pa，沉积时间为240min，基底温度保持在33℃。

6.如权利要求4或5所述的制备基于生物材料表面结构的纳米压印模板的方法，其特征在于：惰性气体为氩气。

7.如权利要求6所述的制备基于生物材料表面结构的纳米压印模板的方法，其特征在于：生物材料为荷叶或竹叶。

8.如权利要求7所述的制备基于生物材料表面结构的纳米压印模板的方法，其特征在于：金属材料为铜，相应的无机薄膜为铜膜；硅类无机材料为硅，相应的无机薄膜为硅膜。