[发明专利]微机电电容式麦克风

权利要求书

1.一种微机电电容式麦克风，其特征在于，所述微机电电容式麦克风包括：

一基座(21)，所述基座(21)开设一背腔(26)；

一背极板(24)，所述背极板(24)设置于所述基座(21)上，并开设有多个音孔(25)，且这些音孔(25)连通所述背腔(26)；

一固定件(23)，设置于所述基座(21)上，所述固定件(23)还包括一支撑部(27)；

一振膜(22)，所述振膜(22)以中心部分承固于所述支撑部(27)，使所述振膜(22)平行于且对应于所述背极板(24)而设置；因此，所述振膜(22)上的应力可自所述支撑部(27)处朝外释放。

2.根据权利要求1所述的微机电电容式麦克风，其特征在于，所述振膜(22)以形心承固于所述支撑部(27)。

3.根据权利要求2所述的微机电电容式麦克风，其特征在于，所述振膜(22)为一圆形振膜，且所述支撑部(27)承固于所述振膜(22)的圆心。

4.根据权利要求1所述的微机电电容式麦克风，其特征在于，所述振膜(22)以其对称轴线承固于所述支撑部(27)。

5.根据权利要求1所述的微机电电容式麦克风，其特征在于，所述振膜(22)为一可挠式振膜。

6.根据权利要求1所述的微机电电容式麦克风，其特征在于，所述振膜(22)为一刚性振膜。

7.根据权利要求1所述的微机电电容式麦克风，其特征在于，所述背极板(24)还包括设置于所述背极板(24)的一侧的多个结构加强部。

8.根据权利要求1所述的微机电电容式麦克风，其特征在于，所述基座(21)的材质为硅。

9.根据权利要求1所述的微机电电容式麦克风，其特征在于，所述振膜(22)与所述背极板(24)的材质为多晶硅。

10.根据权利要求1所述的微机电电容式麦克风，其特征在于，所述微机电电容式麦克风还包括至少一绝缘件(28)，所述绝缘件(28)设置于所述振膜(22)与所述背极板(24)之间，用以避免所述振膜(22)电性接触所述背极板(24)。

11.根据权利要求10所述的微机电电容式麦克风，其特征在于，所述绝缘件(28)的材质为氮化硅。

12.一种微机电电容式麦克风，其特征在于，所述微机电电容式麦克风包括：一背极板(24)、一固定件(23)以及一振膜(22)；其中，所述固定件(23)包括一支撑部(27)，所述支撑部(27)承固于所述振膜(22)的形心，使所述振膜(22)对应且平行设置于所述背极板(24)上；因此，所述振膜(24)上的应力可自所述形心朝外释放。

13.一种微机电电容式麦克风，其特征在于，所述微机电电容式麦克风包括一振膜(22)，所述振膜(22)通过中心部分承固于一支撑件而形成一固定端，所述振膜(22)的周缘则相对形成一自由端，藉以使所述振膜(22)上的应力自所述固定端朝向所述自由端释放。