[发明专利]化学气相增密炉炉膛有效
| 申请号： | 201010187738.5 | 申请日： | 2010-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN101831623A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 廖寄乔;王跃军;邰卫平 | 申请（专利权）人： | 湖南金博复合材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26 |
| 代理公司： | 益阳市银城专利事务所 43107 | 代理人： | 舒斌;夏宗福 |
| 地址： | 413000*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 气相增密炉 炉膛 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学气相增密炉炉膛，它包括保温筒(6)，保温筒(6)内设有发热体(2)，其特征是在保温筒(6)内壁与发热体(2)外壁之间设有一个可放置待加工工件的空间，所述的空间内至少放置有一个待加工工件。
2.一种如权利要求1所述的化学气相增密炉炉膛，它包括保温筒(6)，保温筒(6)内设有发热体(2)，其特征是保温筒(6)内壁与发热体(2)外壁之间的间距为80mm～300mm。
3.根据权利要求2所述的化学气相增密炉炉膛，其特征是所述的保温筒(6)包括里层(4)和表层(5)，里层(4)的表观密度为1.2g/cm3～1.7g/cm3，表层(5)的表观密度为0.4g/cm3～0.9g/cm3。
4.根据权利要求2所述的化学气相增密炉炉膛，其特征是所述的保温筒(6)与发热体(2)均为圆筒形。
5.根据权利要求2或3或4所述的化学气相增密炉炉膛，其特征是所述的发热体(2)由石墨或碳/碳复合材料制成。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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