[发明专利]高光效图形衬底及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及了一种高光效图形衬底及其制造方法，特别是涉及了一种用于LED光源的高光效图形衬底及其制造方法。

背景技术

半导体照明是绿色产业的基础产业，随着“低碳经济”的全面推动，绿色照明也更备受各国政府的重视。为了在照明领域实现低碳经济，各国政府都提出和实施绿色照明工程。各个国家和地区纷纷制定政策扶持LED照明产业发展。目前人们正在开发和推广替代白炽灯、卤钨灯等节能效果显著、性价比高的半导体照明定型产品；开发和推广停车场、隧道、道路等性能要求高、照明时间长的功能性半导体照明定型产品；发展中大尺寸液晶显示背光源、汽车照明等增长力大的半导体照明产品；发展医疗、农业等特殊用途的半导体照明产品。为实现这些用途，提高LED的亮度和功率是LED企业生存和发展的关键所在。LED企业也逐步从低端产品向高端、高亮度和大功率LED产品挺进。除采用优化的LED外延结构外，为提高LED的发光效率，对所用衬底的表面进行图形化处理，从而降低后道外延材料的缺陷密度，提高光子在外延层和衬底界面的反射率，从而提高器件光的输出功率。

发明内容

本申请的发明目的为了解决现有LED光源发光效率低的问题，而提供一种发光效率高的高光效图形衬底和制造该高光效图形衬底的方法。

为了完成本发明的发明目的，本发明采用以下技术方案：

本发明的一种高光效图形衬底，在衬底上刻蚀有中心对称图形，中心对称图形向衬底的四周延伸，其中：所述的中心对称图形为正方形、正六边形、圆形、角度为60°的等边菱形、由六个相同正三角形组成的正六边形、由中心为圆形和嵌入圆形的六个对称分布的相同正三角形组成的正六边形和由中心为圆形及与该圆形分开的六个对称分布的相同正六边形组成的正六边形，以上述中心对称图形为基准单位向衬底的四周延伸，使两个相邻的正方形边长之间的垂直距离、两个相邻的正三角边形边长之间的垂直距离、两个相邻的正六边形边长之间的垂直距离、两个相邻的等边菱形边长之间的垂直距离、两个相邻的圆形的圆周间最短距离和圆形与相邻的正六边形之间的最短距离分别相等，上述距离为0.2-2um，上述相邻的正方形之间、相邻的正六边形之间、相邻的圆形之间、相邻的等边菱形之间、相邻的正三角形之间、圆形与相邻正六边形之间的缝隙被刻蚀，被刻蚀的深度为0.5-1um，其中正方形的边长、正六边形的边长、圆形的半径、等边菱形的边长或正三角形的边长的长度为0.1-4um，该高光效图形衬底的刻蚀率在15％-60％范围内；

本发明的一种高光效图形衬底，其中：所述中心对称图形为正方形的排列为：相邻的正方形的边长相等并且相邻边彼此平行；

本发明的一种高光效图形衬底，其中：所述中心对称图形为正六边形的排列为：距每个正六边形的六个边的外侧相等垂直距离处分别设置一个与上述正六边形的边长相等的另一个正六边形，相邻的正六边形的相邻边长彼此平行；

本发明的一种高光效图形衬底，其中：所述中心对称图形为圆形的排列为：相邻的两个圆形的半径相同并且两个圆形的圆心距相等；

本发明的一种高光效图形衬底，其中：所述中心对称图形为角度为60°的等边菱形的排列为：距每个上述等边菱形的四个边的外侧相等垂直距离处分别设置一个与上述等边菱形边长相等的另一个等边的菱形，相邻的等边菱形的相邻边长彼此平行；

本发明的一种高光效图形衬底，其中；所述中心对称图形为由六个相同正三角形组成的正六边形的排列为：在上述相邻的六个正三角形中，三个正三角形的顶角在一条直线上，另外三个正三角形的顶角在另一条直线上，上述两条直线彼此平行，并且分别与两个正三角形的边共线；

本发明的一种高光效图形衬底，其中：所述中心对称图形为由中心为圆形和嵌入圆形的六个对称分布的正三角形组成的正六边形的排列为：在上述相邻的六个正三角形中，三个正三角形的顶角在一条直线上，另外三个正三角形的顶角在另一条直线上，上述两条直线彼此平行，并且分别与两个正三角形的边共线，其中嵌入圆的圆心为相邻六个正三角形的相邻六个顶角组成矩形的几何的中心，嵌入圆的半径大于相邻正三角形边长间垂直距离的2倍小于正三角形边长的0.3倍；

本发明的一种高光效图形衬底，其中：所述中心对称图形为由中心为圆形及与该圆形分开的六个对称分布的相同正六边形组成的正六边形的排列为：距每个圆形外侧相等垂直距离处分别设置一个与上述圆形外切的正六边形的边长相等的另一个正六边形，相邻的正六边形的相邻边长彼此平行，圆形的半径为正六边形边长的倍；

本发明的一种高光效图形衬底的制造方法，其中：它包括以下步骤：