[发明专利]大折射率调制度的斜条纹全息波导器件制作方法有效
| 申请号: | 201010182515.X | 申请日: | 2010-05-25 |
| 公开(公告)号: | CN101866141A | 公开(公告)日: | 2010-10-20 |
| 发明(设计)人: | 郑继红;黄爱琴;张运波;蒋妍梦;唐平玉;庄松林 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
| 主分类号: | G03H1/12 | 分类号: | G03H1/12;G02B5/32 |
| 代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 吴宝根 |
| 地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 折射率 调制 条纹 全息 波导 器件 制作方法 | ||
1.一种大折射率调制度的斜条纹全息波导器件制作方法,其特征在于,包括如下具体步骤:
1)首先是重铬酸盐明胶(DCG)倾斜条纹全息光栅的制作,将DCG平板置于全息光路曝光,采用柱面透镜在其中一束光路中,将圆形光斑聚焦成线状激光,再直接从侧面以平行于DCG材料层的方向入射,通过调节另外一束激光与DCG的夹角获得不同倾斜角度从0°到90°,条纹间距任意的倾斜条纹反射式光栅,曝光时间为240s,相应的曝光能量为1200mJ/cm2;
2)再将裸露的DCG斜条纹光栅放在柯达固定剂中固化20s,之后用20℃流动自来水反复冲洗3分钟,接着使用浓度分别为50%、75%和100%的异丙醇各清洗2分钟,再将样品放在70℃的纯度为100%的异丙醇中浸泡半分钟;
3)最后用热吹风机产生干燥热气使DCG斜条纹光栅脱水干燥,定型后采用NOA61光学匹配胶覆盖在光栅表面,再封上和记录基质玻璃同等性质的玻璃片,形成中间折射率高基质折射率低的波导内置全息元件。
2.根据权利要求1所述大折射率调制度的斜条纹全息波导器件制作方法,其特征在于,所述全息光路为二极管泵浦固体激光器产生的波长为532nm的激光束首先经过半波片和偏振分光棱镜以及第二个半波片,再经过物镜和空间针孔滤波后,通过反射镜和准直透镜,接着只让其中一束激光通过柱面聚焦透镜,将圆形光斑聚焦成线状激光再直接从侧面以平行于DCG材料层的方式入射,通过调节另外一束激光与DCG的夹角获得不同倾斜角度从0°到90°,条纹间距任意的倾斜条纹反射式光栅。
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