[发明专利]一种用于光刻设备的对准探测装置

权利要求书

1.一种用于光刻设备的对准探测装置，包括：

晶片台基准板，具有至少一个用于掩模对准的透射型标记，所述标记被形成于晶片台基准板的下表面；

光子转换晶体，用于将紫外光转换为可见光，其数量与透射型标记的数量相同，每个光子转换晶体的中心与相应的透射型标记的中心对齐；

光学支架，其上具有用于安装光子转换晶体的通孔和定位暗销的孔，通孔的数量与光子转换晶体的数量相同；

隔离板，用于对透过光学支架的单元光进行传播隔离，其上具有与光学支架上通孔数量相同数量的通孔；

光学滤波片，用于滤除可见光波段外的无用光，每个都分别被安装于隔离板上的相应通孔中；

光纤，每个都与相应的光学滤波片直接相连。

2.根据权利要求1所述的对准探测装置，其中，每个光纤与光学滤波片相连的端面包含用于聚焦光斑的透镜。

3.根据权利要求1所述的对准探测装置，其中，晶片台基准板的上表面具有反射型标记，用于晶片台对准。

4.根据权利要求3所述的对准探测装置，其中，晶片台基准板为一带铬层的石英板，铬层被镀于石英板的下表面，透射型标记被形成于铬层上，反射型标记被形成于石英板的上表面上。

5.根据权利要求4所述的对准探测装置，其中，透射型标记是具有多分支结构的振幅型光栅标记，反射型标记是相位型光栅标记。

6.根据权利要求4所述的对准探测装置，其中，光子转换晶体是闪烁晶体。

7.根据权利要求4所述的对准探测装置，其中，晶片台基准板的标记区域镀金属反射层保护，透射型标记上方对应的区域及其他区域均不镀金属反射层。

8.根据权利要求4所述的对准探测装置，其中，所述光纤为大于入射至光纤端面的光斑直径的多模光纤。

9.根据权利要求4所述的对准探测装置，其中，光学滤波片的直径大于光子转换晶体的直径。

10.根据权利要求1～9所述的对准探测装置，其中，隔离板通过定位暗销与光学支架相连，光学支架上用于安装定位暗销的孔至少有两个，数量与定位暗销的数量相同。

11.根据权利要求10所述的对准探测装置，其中，隔离板由高隔热陶瓷材料制成，能隔离外界热源。