[发明专利]一种半导体专用设备用晶片传输装置

权利要求书

1.一种半导体专用设备用晶片传输装置，其特征在于：其包括升降缓冲吸附台以及和升降缓冲吸附台可调连接的摆臂(12)；

所述升降缓冲吸附台包括装配在一起的吸片台(7)、上、下弹簧垫(1、6)、小轴(3)、弹簧(4)、滑套(5)、小轴锁母(2)，其中上、下弹簧垫(1、6)及吸片台(7)由穿过上、下弹簧垫(1、6)的小轴(3)连接起来，小轴(3)的下端与吸片台(7)螺纹连接，小轴(3)上端设有螺纹连接的小轴锁母(2)，小轴(3)至少设置有三个为均匀分布；弹簧(4)套在小轴(3)上位于上、下弹簧垫(1、6)之间，弹簧(4)两端分别与滑套(5)和弹簧下垫(6)连接，滑套(5)套在弹簧(4)上位于上弹簧垫(1)之下，上弹簧垫(1)上设有与滑套(5)配套的凹坑；在小轴锁母(2)上设有紧固螺钉(13)，弹簧下垫(6)与吸片台(7)接触的端面上开设有环形下凹气道(14)；吸片台(7)的下表面上均匀布设有同心环形凹槽(15)，并设有将各环形凹槽(15)沟通的两条互垂直的径向凹槽(16)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体专用设备用晶片传输装置，其特征在于：本发明所述摆臂(12)与升降缓冲吸附台的可调连接为，在摆臂(12)上固定有角板架(11)，角板架(11)上设有槽孔(17)，所述螺钉穿过槽孔(17)将角板架(11)固定在摆臂(12)上，角板架(11)另一端设有直角折边与弹簧上垫(1)抵靠，摆臂(12)端部并排固定有两个螺纹圆柱销(9)，螺纹圆柱销(9)另一端穿过角板架(11)与弹簧上垫(1)螺纹连接；在角板架(11)上固定有弹簧卡固定板(10)，在弹簧上垫(1)上安装有弹簧卡拉钩(8)，弹簧卡固定板(10)和弹簧卡拉钩(8)间设置有用来控制弹簧上垫(1)和摆臂(12)间相对距离的弹性装置。

3.根据权利要求1所述的一种半导体专用设备用晶片传输装置，其特征在于：中所述弹簧下垫(6)下表面上设置的环形下凹气道(14)深度为1毫米，直径在130毫米至132毫米；所述设置在吸片台(7)下表面上的环形凹槽(15)间距为5毫米、宽度为0.3毫米、深度为1毫米，径向凹槽(16)宽度为0.3毫米、深度为1毫米。