[发明专利]基板处理装置和基板处理装置的显示方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，包括：

控制单元，其对操作画面的显示进行控制，上述操作画面用于操作关于基板处理的信息；和

安装部，其用于装备可拆装的外部存储装置，

上述基板处理装置的特征在于，

在上述外部存储装置被安装在上述安装部的情况下，上述控制单元进行控制，以使用于拆下所安装的外部存储装置的按钮配置在能按下的位置；在上述外部存储装置未被安装在上述安装部的情况下，上述控制单元进行控制，以使上述按钮不被按下。

2.一种基板处理装置，包括：

操作部，其具有进行文件的生成或编辑的操作画面，其中上述文件用于处理基板；和

控制单元，其分别通过通信线路与安装部连接，进行控制以执行上述文件，其中上述安装部用于装备外部存储单元，该外部存储单元用于写入执行上述文件时生成的数据，

上述基板处理装置的特征在于，

上述控制单元被构成为：

在上述外部存储单元未被安装在上述安装部的情况下，使上述操作画面上的预定按钮的颜色与背景色相同而成为不可按下状态；

在上述外部存储单元被安装在上述安装部的情况下，在上述基板处理装置正在对基板进行处理时，在上述操作画面上，在即使是已预先确定的操作或用于监视上述基板处理装置的工作状态的画面的切换显示操作也不进行切换的部分明示预定按钮。

3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，

在为了从上述安装部拆下上述外部存储单元而按下上述预定按钮的情况下，

当向上述外部存储单元写入数据的写入处理尚未结束时，发生错误。

4.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，

上述控制单元，使上述操作画面显示用于使上述外部存储单元存储上述文件内的数据的设定画面，当预定的文件被选择时，使上述外部存储单元存储所选择的文件内的数据。

5.一种基板处理装置的显示方法，其特征在于，

在外部存储单元未被安装在安装部的情况下，显示为使操作画面上的预定按钮的颜色与背景色相同而成为不可按下状态，

在外部存储单元被安装在安装部的情况下，当基板处理装置正在对基板进行处理时，在操作画面上，在即使是已预先确定的操作或用于监视上述基板处理装置的工作状态的画面的切换显示操作也不进行切换的部分明示上述预定按钮。