[发明专利]形状测量装置、形状测量方法以及程序

权利要求书

1.一种形状测量装置，使作为旋转体的被测量物以第一轴为中心进行旋转，并且测量上述被测量物的各旋转角处的表面的位移，该形状测量装置的特征在于，具备：

触头，其前端能够与上述被测量物相接触；

第一配置单元，其将上述被测量物配置在第一位置处；

第一测量单元，其在上述第一位置处使上述触头跟踪上述被测量物的表面与第二轴平行地移动，测量沿着上述第二轴的各位置处的上述触头的位移量，来获取第一测量曲线，其中，上述第二轴与上述第一轴正交；

第二配置单元，其使上述被测量物以上述第一轴为中心旋转90度，来将上述被测量物从上述第一位置配置到第二位置处；

第二测量单元，其在上述第二位置处使上述触头跟踪上述被测量物的表面与上述第二轴平行地移动，测量沿着上述第二轴的各位置处的上述触头的位移量，来获取第二测量曲线；

极值位置算出单元，其分别对上述第一测量曲线和第二测量曲线进行圆拟合，算出表示各圆的极值的第一极值和第二极值在上述第二轴方向上的位置；以及

移动单元，其使上述被测量物沿与上述第二轴平行的方向以及与第三轴平行的方向移动，使得上述第一极值和上述第二极值在上述第二轴方向上的位置成为0，其中，上述第三轴与上述第一轴和上述第二轴正交。

2.一种形状测量方法，使用具有触头的形状测量装置，该形状测量装置使作为旋转体的被测量物以第一轴为中心进行旋转，并且测量上述被测量物的各旋转角处的表面的位移，该触头的前端能够与上述被测量物相接触，该形状测量方法的特征在于，具备以下工序：

将上述被测量物配置在第一位置处；

在上述第一位置处，使上述触头跟踪上述被测量物的表面与第二轴平行地移动，测量沿着上述第二轴的各位置处的上述触头的位移量，来获取第一测量曲线，其中，上述第二轴与上述第一轴正交；

使上述被测量物以上述第一轴为中心旋转90度，来将上述被测量物从上述第一位置配置到第二位置处；

在上述第二位置处，使上述触头跟踪上述被测量物的表面与上述第二轴平行地移动，测量沿着上述第二轴的各位置处的上述触头的位移量，来获取第二测量曲线；

分别对上述第一测量曲线和上述第二测量曲线进行圆拟合，算出表示各圆的极值的第一极值和第二极值在上述第二轴方向上的位置；以及

使上述被测量物沿与上述第二轴平行的方向以及与第三轴平行的方向移动，使得上述第一极值和上述第二极值在上述第二轴方向上的位置成为0，其中，上述第三轴与上述第一轴和上述第二轴正交。

3.一种形状测量程序，使用具有触头的形状测量装置，该形状测量装置使作为旋转体的被测量物以规定的旋转轴为中心进行旋转，并且测量上述被测量物的各旋转角处的表面的位移，该触头的前端能够与上述被测量物相接触，该形状测量程序用于使计算机执行以下工序：

将上述被测量物配置在第一位置处；

在上述第一位置处，使上述触头跟踪上述被测量物的表面与第二轴平行地移动，测量沿着上述第二轴的各位置处的上述触头的位移量，来获取第一测量曲线，其中，上述第二轴与上述第一轴正交；

使上述被测量物以上述第一轴为中心旋转90度，来将上述被测量物从上述第一位置配置到第二位置处；

在上述第二位置处，使上述触头跟踪上述被测量物的表面与上述第二轴平行地移动，测量沿着上述第二轴的各位置处的上述触头的位移量，来获取第二测量曲线；

分别对上述第一测量曲线和上述第二测量曲线进行圆拟合，算出表示各圆的极值的第一极值和第二极值在上述第二轴方向上的位置；以及

使上述被测量物沿与上述第二轴平行的方向以及与第三轴平行的方向移动，使得上述第一极值和上述第二极值在上述第二轴方向上的位置成为0，其中，上述第三轴与上述第一轴和上述第二轴正交。