[发明专利]混合气体供给系统、溅镀装置及溅镀方法

权利要求书

1.一种混合气体供给系统，其包括至少两个气体源、至少两个气体质量流量控制器及至少两个第一阀门，每个气体源与一个第一阀门及一个气体质量流量控制器依次相连，其特征在于，该混合气体供给系统还包括至少两个三通阀门、多个第二阀门、两个混合腔及两个第三阀门，每个气体质量流量控制器通过一个三通阀门选择性地与一个第二阀门及该两个混合腔之一个混合腔依次相连，各混合腔设有出气口，该出气口由一个第三阀门开合。

2.如权利要求1所述的混合气体供给系统，其特征在于，该混合气体供给系统还包括两个排气泵，每个排气泵与一个混合腔相通。

3.如权利要求2所述的混合气体供给系统，其特征在于，该两个混合腔通过该两个第三阀门相互连通。

4.如权利要求1至3任一项所述的混合气体供给系统，其特征在于，该混合气体供给系统还包括至少两个逆止阀，每个逆止阀设于一个气体质量流量控制器及一个与该气体质量流量控制器对应的三通阀门之间。

5.一种溅镀装置，其包括溅镀腔及用于向该溅镀腔内供应混合气体的混合气体供给系统，该混合气体供给系统包括至少两个气体源、至少两个气体质量流量控制器及至少两个第一阀门，每个气体源与一个第一阀门及一个气体质量流量控制器依次相连，其特征在于，该混合气体供给系统还包括至少两个三通阀门、多个第二阀门、两个混合腔及两个第三阀门，每个气体质量流量控制器通过一个三通阀门选择性地与一个第二阀门及该两个混合腔之一个混合腔依次相连，各混合腔设有出气口，该出气口通过一个第三阀门与该溅镀腔相连。

6.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于，该混合气体供给系统还包括两个排气泵，每个排气泵与一个混合腔相通。

7.如权利要求6所述的溅镀装置，其特征在于，该两个混合腔通过该两个第三阀门相互连通后与该溅镀腔相连。

8.如权利要求5至7任一项所述的溅镀装置，其特征在于，该混合气体供给系统还包括至少两个逆止阀，每个逆止阀设于一个气体质量流量控制器及一个与该气体质量流量控制器对应的三通阀门之间。

9.一种溅镀方法，包括：

提供如权利要求5所述的溅镀装置及待镀工件；

于该三通阀门的控制下自该至少两个气体源向该两个混合腔之一个混合腔输入各种反应气体，混合，得第一混合气体；

输送该第一混合气体至该溅镀腔，溅镀该工件，同时于该三通阀门的控制下自该至少两个气体源向该两个混合腔之另一个混合腔输入各种反应气体，混合，得第二混合气体；及

输送该第二混合气体至该溅镀腔，溅镀该工件。

10.如权利要求9所述的溅镀方法，其特征在于，该溅镀装置还包括两个排气泵，每个排气泵与一个混合腔相通，该溅镀方法还包括于输送该第二混合气体至该溅镀腔内的同时，采用该排气泵抽净该第一混合气体。