[发明专利]一种真空蒸镀设备及其蒸镀方法

权利要求书

1.一种真空蒸镀设备，包括蒸镀腔、与蒸镀腔相连通的真空泵、设于蒸镀腔内的金属源区域及样品固定区域，其特征在于，还包括一个或多个能遮挡样品固定区域的挡板及驱动挡板开合动作的挡板驱动装置，该金属源区域包括一种或多种金属源，该样品固定区域包括一种或多种样品。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，多个挡板通过挡板驱动装置独立控制其开合。

3.根据权利要求2所述的真空蒸镀设备，其特征在于，每个挡板遮挡样品固定区域的一部分。

4.根据权利要求1至3任一项所述的真空蒸镀设备，其特征在于，该蒸镀腔还设有用于监控蒸镀膜厚的监控装置。

5.一种利用权利要求1所述设备的真空蒸镀方法，在抽真空前，在样品固定区域按照所需要的金属结构将一种或多种样品分别固定于不同挡板所遮盖的区域中；将所有样品所需的金属源在相应的坩埚或热舟中准备好；在蒸镀过程中，根据设定的金属电极结构，控制一个挡板或多个挡板的开合，完成多种不同金属结构的蒸镀过程。

6.根据权利要求5所述的真空蒸镀方法，其特征在于，在蒸镀过程中，通过监控装置监控到蒸镀膜厚达到预设厚度时，通过控制挡板的开合，完成该层金属层的蒸镀。