[发明专利]硅片水平清洗机滚轮无效
| 申请号： | 201010171993.0 | 申请日： | 2010-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN101862738A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 覃启东 | 申请（专利权）人： | 苏州聚晶科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215137 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 水平 清洗 滚轮 | ||
【权利要求书】：
1.硅片水平清洗机滚轮，包括由上滚轮、下滚轮组成的至少一对滚轮，每对滚轮中的上滚轮与下滚轮上下相对，下滚轮与带动其转动的下转轴相连；其特征是：它还包括用于驱动上滚轮转动的上驱动轴；被清洗的硅片放置在下滚轮上，上滚轮与硅片的上表面接触，上滚轮与上驱动轴之间在径向方向有间隙。
2.如权利要求1所述的硅片水平清洗机滚轮，其特征是：它还包括设置在上驱动轴上的两个挡块，上滚轮位于两个挡块之间，上滚轮与两个挡块之间均有间隙。
3.如权利要求2所述的硅片水平清洗机滚轮，其特征是：上驱动轴包括上转轴和沿着上转轴径向延伸的驱动销；上转轴穿过上滚轮的内孔；上滚轮内孔壁上开有凹槽；驱动销伸入凹槽内；驱动销的宽带小于凹槽的宽带，驱动销的高度小于凹槽的深度，上转轴的外径小于上滚轮的内孔直径。
4.如权利要求1所述的硅片水平清洗机滚轮，其特征是：所述滚轮有两对。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州聚晶科技有限公司，未经苏州聚晶科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010171993.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
