[发明专利]循环蒸镀装置

权利要求书

1.一种循环蒸镀装置，包括主腔体及至少两组活动蒸发舟单元，所述主腔体与抽真空系统连通，所述活动蒸发舟单元密封地枢接于所述主腔体上，其特征在于：所述活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，所述副腔体与所述主腔体连接，所述长轴贯穿地枢接于所述副腔体上，所述长轴的一端与所述驱动机构连接，所述长轴的另一端与所述蒸发舟连接，所述蒸发舟伸入所述主腔体内并与所述主腔体密封地枢接，所述驱动机构通过所述长轴带动所述蒸发舟运动。

2.如权利要求1所述的循环蒸镀装置，其特征在于：所述主腔体上相对于所活动蒸发舟单元的位置处开设有蒸镀通道，所述活动蒸发舟单元的蒸发舟穿过所述蒸镀通道并伸入所述主腔体内，所述长轴位于所述主腔体外。

3.如权利要求2所述的循环蒸镀装置，其特征在于：所述副腔体上对应所述蒸镀通道的位置处设置有蒸发舟通道，所述蒸发舟通过所述蒸发舟通道进出所述副腔体。

4.如权利要求2所述的循环蒸镀装置，其特征在于：所述主腔体的蒸镀通道处均设置有真空阀门。

5.如权利要求4所述的循环蒸镀装置，其特征在于：所述真空阀门为闸板阀。

6.如权利要求1所述的循环蒸镀装置，其特征在于：所述抽真空系统包括第一抽真空系统及第二抽真空系统，所述第一抽真空系统与所述主腔体连通，所述第二抽真空系统与所述副腔体连通。