[发明专利]具有低电阻的芯片电阻器及其制造方法无效
| 申请号: | 201010170673.3 | 申请日: | 2010-04-30 |
| 公开(公告)号: | CN102237160A | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
| 发明(设计)人: | 杨志忠;林美玲;钱彦玮;胡雅棠;曾敬源 | 申请(专利权)人: | 国巨股份有限公司 |
| 主分类号: | H01C7/00 | 分类号: | H01C7/00;H01C17/06 |
| 代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 电阻 芯片 电阻器 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种芯片电阻器及其制造方法,具体而言,涉及一种具有低电阻的芯片电阻器及其制造方法。
背景技术
如图1所示,一现有芯片电阻器1为附接至一印刷电路板的被动组件。该现有芯片电阻器1的制造方法首先包含提供一陶瓷基板11,其具有一第二表面111、一对侧面112及一第一表面113。接着,在该基板11的第二表面111上形成一对底部电极13。每一所述底部电极13具有一外表面131,其与该基板11的侧面112对齐。在该基板11的中心区域上形成一电阻层14,且该电阻层14具有一对末端141。
在该基板11的第一表面113上形成一对导电层12。每一所述导电层12具有一外表面122,其与该基板11的侧面112对齐。此外,每一所述导电层12具有一内部部分121及一外表面122。所述导电层12延伸至该电阻层14上方,使得所述导电层12的内部部分121重迭该电阻层14的末端141。
此外,在该电阻层14上,形成一第一覆盖层15。此外,在该第一覆盖层15上形成一第二覆盖层16。在该基板11的侧面112、所述导电层12的外表面122及所述底部电极13的外表面131上形成一对侧电极17,使得所述侧电极17电性连接所述导电层12与所述底部电极13。进一步电镀一对第一电镀层18以覆盖所述底部电极13、所述导电层12及所述侧电极17,且电镀一对第二电镀层19以覆盖所述第一电镀层18。此时即形成该现有芯片电阻器1。
在一现有厚膜芯片电阻器中,网版印刷一电阻膏于该陶瓷基板11上,以形成该电阻层14。其后,该现有厚膜芯片电阻器经历干燥制造过程及烧结制造过程。为了将该现有厚膜芯片电阻器的电阻减少至约100mΩ,常将银(Ag)、钯(Pd)或银钯(Ag-Pd)合金应用于该电阻膏。然而,银(Ag)或钯(Pd)的电阻温度系数(Temperature Coefficient ofResistance,TCR)为约600ppm/℃至约1000ppm/℃,因此该现有厚膜芯片电阻器的电阻温度系数几乎不能满足约50ppm/℃或低于50ppm/℃的需要。此外,因为该现有厚膜芯片电阻器的电阻是由印刷图案的大小决定,所以印刷图案的大小限制了电阻的最小值。
另一方面,在一现有薄膜芯片电阻器中,在该陶瓷基板11上溅镀一靶材而形成该电阻层14。首先在该基板11的第一表面113上形成一屏蔽(图中未示),其用于界定该电阻层14的图案。特定而言,该屏蔽沿该基板11的第一表面113的周边形成,以便形成一用于曝露该基板11的第一表面113的一部分,且较佳地曝露该基板11的第一表面113的中心区域的图案。接着,通过在上文提及的预定屏蔽及该基板11的整个第一表面113上溅镀而进一步形成具有所述末端141的电阻层14。其后,通过刷洗(Brushing)与水洗的组合来移除该屏蔽。与该陶瓷基板11直接接触的经溅镀该电阻层14由于与该陶瓷基板11的强附着力而留下,而位于该屏蔽顶部的经溅镀该电阻层14经由刷洗及水洗容易地移除。因此,该电阻层14的图案对应于由该屏蔽形成的图案。其后,该现有薄膜芯片电阻器经历激光修整制造过程及退火制造过程。为了减少该现有薄膜芯片电阻器的电阻,本领域技术人员常调整适当靶材、适当图案或溅镀制造过程的参数。减少电阻的一般方法为通过延长溅镀的持续时间来增加该电阻层14的厚度。举例而言,为了将电阻减少至约100mΩ,溅镀的持续时间为约1小时;为了将电阻减少至约10mΩ,溅镀的持续时间为约5小时或大于5小时。然而,历时如此长时间的溅镀为昂贵的,且不适合于大量生产。此外,在长持续时间的溅镀中,发现在该陶瓷基板11上积累的热将导致该电阻层14与该屏蔽(图中未示)之间的相互作用。此相互作用使溅镀图案失真,因而增加电阻变化且减少成品率。
因此,有必要提供一种具有低电阻的芯片电阻器及其制造方法,以解决上述问题。
发明内容
本发明提供一种具有低电阻的芯片电阻器。该芯片电阻器包括一基板、一电阻层、一对导电层及至少一保护层。该基板具有一第一表面。该电阻层位于该基板的第一表面上。所述导电层位于该基板的第一表面的上方。该至少一保护层位于该电阻层或所述导电层上。
本发明更提供一种具有低电阻的芯片电阻器的制造方法。该方法包含以下步骤:(a)提供一基板,其具有一第一表面;(b)溅镀一电阻层于该基板的第一表面上;(c)电镀一对导电层于该基板的第一表面的上方;及(d)形成至少一保护层于该电阻层或所述导电层上。
由此,该电阻层具有一精确图案,且溅镀的持续时间减少,因此成品率及效率得以改进且制造成本得以降低。
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