[发明专利]一种等离子体发生装置和产生等离子体的方法

权利要求书

1.一种等离子体发生装置，其特征在于，包括：

密封的真空仓，其包括一个进气口和一个出气口；

位于真空仓内的半封闭阴极空腔，其外表面用绝缘介质覆盖；

位于真空仓内的阳极金属板；

负高压电源，其负极端与半封闭阴极空腔相连，接地端与阳极金属板相连；

其中，所述半封闭阴极空腔的轴线与阳极金属板平行；

在真空仓内通入工作气体时，调整所述半封闭阴极空腔与阳极金属板之间的距离，使得该距离与工作气体气压的乘积大于局域放电阈值。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述半封闭阴极空腔为圆柱形，或者，球形，或者矩形。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述绝缘介质包括云母、玻璃和陶瓷。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：限流电阻，其连接在所述半封闭阴极空腔和负高压电源之间。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述负高压电源具有可调制脉宽。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述负高压电源具有可调电压。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述半封闭阴极空腔的材料为金属。

8.一种应用权利要求1所述的等离子体发生装置产生等离子体的方法，其特征在于，包括：

在真空仓内通入工作气体；

调整半封闭阴极空腔与阳极金属板之间的距离，使得该距离与工作气体气压的乘积大于局域放电阈值，其中，所述半封闭阴极空腔的外表面用绝缘介质覆盖；

控制负高压电源输出负高压脉冲；

在所述负高压脉冲值大于放电击穿电压时，所述半封闭阴极空腔与阳极开始放电，并在所述半封闭阴极空腔内产生等离子体。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制负高压电源输出负高压脉冲的步骤，包括：

调节所述负高压脉冲的宽度和电压的大小。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，还包括：

在往上调节所述负高压脉冲的电压的大小时，所述等离子体的放电电流增大。