[发明专利]一种调校治具

说明书

技术领域

本发明是有关于一种调校治具，且特别是有关于一种用以调整一传送手臂和一平台之间的相对水平的调校治具。

背景技术

液晶显示器已是与人们生活息息相关、不可或缺的必备产品。其应用面可概分为5大类：(1)视频显示器，例如数字相机、数字摄像机、打印机、手机、携带型数字影像显示器(DVD)、车用配备；(2)通用显示器，例如工业应用计算机、数字显示产品、网路电子产品；(3)可携显示器，例如笔记型计算机(Note Book)、超轻薄笔记型计算机；(4)桌上显示器，例如个人计算机(Personal Computer)显示器、监视器(Monitor)；(5)电视显示器，例如个人电视、家庭电视。而制造液晶显示器所需的基板则可依大小分类成三种：符合笔记型计算机及监视器所使用12″～24″基板，称为中尺寸面板；符合电视显示器所使用26″～47″基板，称为大尺寸面板；以及Array工艺～ODF工艺未切割的基板，称为母板。

不论是何种尺寸基板的制造，因其设备投资金额庞大，相对的产能要求相当严苛。所以全厂的物流传输几乎90％使用自动化设备，例如搭配计算机整合制造(Computer Integrated Manufacturing，CIM)进行物流控制，以期能提高主工艺机台的设备稼动率(Equipment utilization)，其相关工艺设备及自动化规划亦臻成熟。

如相关领域者所知，各工艺的开始和结束都是加载机(Loader)及载出机(Unloader)做开端与收尾。此设备是利用以机械手臂将基板从卡匣(Cassette)取出并载入(Loading)给工艺机台或将工艺机台完成的基板载出(Unloading)装填回卡匣，而完成自动化传输。而厂内工艺间的传送可依基板尺寸而定，若是中小型尺寸面板，可由人工做后续的搬送，若是大尺寸面板及Array～ODF的母板，因卡匣变大变重很难再使用人工搬送，改由无人搬运车(Automated guided vehicle，AGV)或轨道式输送车(Railguided vehicle，RGV)于不同工艺机台间接驳，另外也可搭配人工使用手动搬运车移动(Manual guided vehicle，MGV)以应付例外狀况。

不论是中小型尺寸面板、大尺寸面板或母板，其基板都需注意包括基板搬送、夹持、储存、清洁以及任何基板与周边的相互影响等问题，以避免造成基板承受撞击、压迫、偏转、振动、污染、静电等等不良危害。

在众多液晶显示器设备当中，加载/载出机扮演着承先启后的角色，在每天好几千片基板取/放到机台、卡匣的过程中，都不可有任何闪失，哪怕是一点点的小摩擦，就有可能让所有完成的工艺前功尽弃。于是扮演将基板从卡匣取出或加载角色的机械手臂，其质量和取载过程是否对位准确显得格外重要。

图1是绘示卡匣与传送机构的示意图。如图1所示，在传送系统中，机械手臂11由其腕部(Wrist)111做固定支撑，再以牙叉(Fork)113深入平台(Stage)12上的卡匣14内将基板(例如晶圆)142一一取出后移至另一位置，例如一晶舟盒(Boat，未显示)里，为进行后续工艺(如进入高温炉管进行相关化学反应)作准备。当工艺完毕后，可再利用机械手臂11将工艺后的基板自晶舟盒一一取出并放回卡匣14。在机械手臂设计上可以是单支、2支、3支、4支、5支牙叉等等。如图1所示，机械手臂11设计了5支牙叉113，可同时进行5片基板142的取放动作。图2是绘示单一牙叉传送基板的示意图。当牙叉113深入卡匣14内取/放基板142，移动过程中通过牙叉113上的多个真空吸盘(Vacuum pad)1131让基板142与牙叉113之间不会产生相对滑动，待机械手臂到达确定的置放位置(如晶舟盒、卡匣或工艺机台的确定位置)时再开启或解除真空，以做基板142的取/放。在牙叉113取/放基板142的过程中，是否对位准确避免刮伤基板是十分重要的基本步骤。

图3是绘示牙叉在两基板之间倾斜前进的示意图。其中，两相邻的基板W1和W2具有一间距d，线H与基板W1和W2呈相对水平，当机械手臂的牙叉113其前进方向与相对水平线H呈一夹角θ，以六时晶圆来说，间距d约4mm，当θ超过0.5度就会造成基板刮伤。目前是以人员站在卡匣前方透过肉眼观察的方式，来判断在进入卡匣内取/放基板时，牙叉是否与基板成相对水平，以避免伸入后刮伤基板。特别是机械手臂具有多支牙叉时，若没有校正至与基板成完全水平，可能一次取/放就会刮伤多片基板。