[发明专利]一种有机氯硅烷工艺尾气回收利用方法

权利要求书

1.一种有机氯硅烷工艺尾气回收利用方法，包括合成反应步骤以及冷凝收 集步骤，其特征在于：

(1)、将经冷凝收集步骤后的尾气，送入喷淋吸收塔，用苯、甲苯、二甲 苯、氯苯以及芳烃及其衍生物中的一种有机溶剂喷淋吸收尾气中剩余的四氯化 硅；

(2)、经喷淋吸收步骤后的尾气，送入石墨降膜吸收塔用水吸收尾气中的 氯化氢生成盐酸。

2.根据权利要求1所述的一种有机氯硅烷工艺尾气回收利用方法，其特征 在于：形成的喷淋吸收液送入精馏塔分馏出有机溶剂和四氯化硅。