[发明专利]数控硅块双平面研磨机

说明书

技术领域

本发明涉及数控机床自动化领域，具体为一种数控硅块双平面研磨机。

背景技术

光伏行业是一个新兴的行业，随着光伏行业的快速发展，太阳能发电对单、多晶硅的要求量增大，同时对单、多晶硅的加工设备要求更高。在多晶硅的加工过程中为了消除工件表面裂纹，减少应力，提高成品率，必须对硅块表面及R角进行磨削处理。现有的国内外加工设备中都是运用金刚石砂轮对硅表面进行平面磨削修整，用这种磨削设备磨削修整虽然能消除硅块表面裂纹，但是由于金刚石砂轮为硬质材料，在磨削过程中产生的正面压力较大，从而又会产生新的微小裂纹和其他损伤，严重影响硅块的成品率，质量难以保证，由于金刚石砂轮磨削量大，所以硅块需要保留很多的加工余量。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种数控硅块双平面研磨机，能够提高硅块的成品率，保证硅块的成品质量，而且所要加工的硅块也不需要保留很多的加工余量。

其技术方案是这样的：数控硅块双平面研磨机包括床身、工作台、滑鞍、滑板、和研磨头，所述床身中间有直线导轨、滚珠丝杆，所述工作台安装在直线导轨、滚珠丝杆上，所述滑鞍有一对，安装在床身左右两边，所述滑鞍上有直线导轨、滚珠丝杆，所述滑板通过直线导轨、滚珠丝杆安装在所述滑鞍上，所述研磨头安装在滑板上，所述研磨头包括砂轮架、砂轮主轴、砂轮电机和研磨盘，所述砂轮电机安装在砂轮架尾部，所述砂轮电机连接砂轮主轴的输入端，所述研磨盘安装在砂轮主轴的输出端，其特征在于：所述研磨盘为金刚毛刷柔性研磨盘。

其进一步特征在于：所述金刚毛刷柔性研磨盘为组合式金刚毛刷柔性研磨盘；所述组合式毛刷研磨盘包括金刚毛刷，毛刷座和研磨接盘；所述金刚毛刷由尼龙与金刚砂混合制成；所述滑板有三对，安装在床身左右两边的所述滑鞍上；所述工作台上安装有自动压紧装置；所述床身前部安装一套自动对中装置；所述床身前部靠后位置安装一套激光自动测量装置；所述研磨盘包括三套不同金刚砂粒度的组合式金刚毛刷柔性研磨盘。

本发明的上述结构中，由于研磨盘采用柔性研磨盘，在研磨过程中，对原损伤层进行修正，在研磨过程中产生的正面压力较小，在研磨过程中不会使硅块表面产生新的裂纹，更不会对硅块研磨表面带来新的损伤，从而提高了硅片的成品率，由于柔性研磨盘对硅块表面的研磨量极小，所需加工硅块只需保留很少的加工余量，从而大大地节省了原材料。

附图说明

图1为本发明数控硅块双平面研磨机主视图结构示意图；

图2为本发明数控硅块双平面研磨机右视图结构示意图；

图3为本发明数控硅块双平面研磨机组合式毛刷柔性研磨盘示意图。

具体实施方式