[发明专利]薄膜形成方法

说明书

本申请是申请号为：200510081303.1，申请日为：2005年6月24日，发明名称为：“薄膜形成方法”的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种薄膜形成方法。

背景技术

作为以往的薄膜形成方法，一般来说使用旋转涂覆法或苯胺印刷法等。与之相对，近年来，使用了在减少墨液使用量或减少工序数方面十分有效的液滴喷出法的薄膜形成方法正在广泛应用。此种使用了液滴喷出法的薄膜形成方法中，将墨液(液体材料)作为液滴而喷出配置多个，通过将该被配置的墨液干燥而除去墨液中的溶剂，就形成了薄膜。

但是，在使用了此种液滴喷出法的薄膜形成方法中，在使通过被喷出多个而配置的墨液干燥时，在薄膜的端部的墨液和薄膜的中央部的墨液中干燥速度不同。更具体来说，薄膜的端部的墨液与薄膜的中央部的墨液相比，以更快的速度干燥。

由此，在墨液的干燥工序中，墨液中的固形部分向干燥速度快的端部流动，结果就形成了端部隆起的薄膜。

此种端部隆起了的薄膜由于膜厚不均匀，因此在全面上就不具有均匀的功能性。由此，例如在为了实现高质量化，利用使用了液滴喷出法的薄膜形成方法形成特别要求膜厚的均匀性的液晶显示装置的取向膜或覆盖涂膜的情况下，就会产生取向膜或覆盖涂覆材料的膜厚无法被均匀化，不能获得取向膜或覆盖涂覆材料的所需的功能性的问题。

为了解决此种问题，考虑通过应用特开2001-170546号公报(专利文献1)中记载的技术，通过在基板上设置温度梯度来控制薄膜的端部和中央部的干燥速度，使薄膜的端部和中央部的干燥速度相同，来抑制薄膜端部的隆起。

专利文献1：特开2001-170546号公报

但是，在像取向膜那样形成量级的膜厚的薄膜的情况下，在使基板具有温度梯度的时刻，墨液已经蒸发掉。在墨液的调平作用发生之前，墨液已经干燥·固化。

另外，基板具有温度梯度的结果会将向基板上喷出配置的墨液的相同膜表面的温度分布不均匀化。由此，在作为墨液使用了聚合物墨液或染料墨液的情况下，由于墨液内的粒子的运动状态发生变化，因此就有可能在将墨液干燥后产生膜不均。

发明内容

本发明是鉴于所述问题而完成的，其目的在于，更为可靠地并且简单地将给定的薄膜形成区域中的薄膜的膜厚均匀化。

为了达成所述目的，本发明的薄膜形成方法是将液体材料作为液滴喷出而在基板上形成薄膜的薄膜形成方法，其特征是，向比薄膜形成区域更宽的液体材料配置区域喷出所述液体材料，通过使所述液体材料干燥，将所述薄膜的端部的隆起部分配置在所述薄膜形成区域外。

根据具有此种特征的本发明的薄膜形成方法，由于薄膜的端部的隆起部分被配置在薄膜形成区域外，因此在薄膜形成区域上，就形成均匀的膜厚的薄膜。由此，在薄膜形成区域中，就能够使薄膜发挥所需的功能性。像这样，根据本发明的薄膜形成方法，由于可以不用使基板具有温度梯度，就可以在薄膜形成区域上形成均匀的膜厚的薄膜，因此就能够更为可靠地并且简单地将薄膜形成区域的薄膜的膜厚均匀化。

另外，本发明的薄膜形成方法可以采用如下的构成，即，具有掌握所述薄膜的端部的隆起部分的宽度的掌握工序、基于在所述掌握工序中被掌握的所述薄膜的端部的隆起部分的宽度来决定所述液体材料配置区域的液体材料配置区域决定工序。

通过采用此种构成，就可以基于被预先掌握的薄膜的端部的隆起部分的宽度来决定液体材料配置区域。由此，由于可以将隆起部分可靠地配置在薄膜形成区域的外部，因此就可以更为可靠地将薄膜形成区域的薄膜的膜厚均匀化。

另外，在本发明的薄膜形成方法中，可以采用如下的构成，即，在所述基板为液晶显示装置用基板并且所述薄膜为取向膜的情况下，将所述薄膜的端部的隆起部分配置在包围所述薄膜形成区域的遮光膜上。

通过采用此种构成，不用在薄膜形成区域外设置新的配置隆起部分的区域，就可以在薄膜形成区域上形成均匀的膜厚的取向膜。

另外，在本发明的薄膜形成方法中，也可以采用如下的构成，即，所述基板为液晶显示装置用的基板，并且所述薄膜为覆盖涂膜。

通过采用此种构成，就可以在薄膜形成区域上形成均匀的膜厚的覆盖涂膜。

另外，在本发明的薄膜形成方法中，可以采用所述薄膜形成区域为显示区域的构成。

通过采用此种构成，形成于显示区域上的薄膜的膜厚就被均匀化。由此，由于在显示区域整体上薄膜发挥所需的功能性，因此就能够进一步提高显示区域的显示性能。

附图说明