[发明专利]一种多边形电极的压电薄膜体声波传感器

权利要求书

1.一种具有多边形电极的薄膜体声波传感器，包括衬底、压电薄膜、上下金属电极、电极引线以及覆盖在上电极表面的敏感膜，其特征在于压电薄膜两表面的上下电极有一个或者两个是多边形，该多边形为任意两边不平行、内角均为钝角、边数小于10的多边形。

2.根据权利要求1所述的具有多边形电极的薄膜体声波传感器，其特征在于压电薄膜两表面的上下电极有一个为任意两边不平行、内角均为钝角、边数小于10的多边形时，其面积小于另一个金属电极的面积。

3.根据权利要求1或2所述的具有多边形电极的薄膜体声波传感器，其特征在于所述的多边形可以是正五边形、非正五边形、正七边形、非正七边形、正九边形、非正九边形、非正六边形、非正八边形等，其中正五边形的效果最好。

4.根据权利要求1或2所述的具有多边形电极的薄膜体声波传感器，其特征在于所述的压电薄膜是c轴择优取向或c轴倾斜择优取向的压电薄膜。

5.根据权利要求1或2所述的具有多边形电极的薄膜体声波传感器，其特征在于所述的压电薄膜是生长在Si衬底或GaAs衬底表面。

6.根据权利要求1或2所述的具有多边形电极的薄膜体声波传感器，其特征在于所述的覆盖在上电极表面的敏感膜是Au、Pt、Pb、ZnO金属催化物。