[发明专利]一种在钛合金零件上制备高纯度耐腐蚀铝涂层的方法

权利要求书

1. 一种在钛合金零件上制备高纯度耐腐蚀铝涂层的方法，其特征在于：按下述步骤对钛合金零件制备铝涂层：去除钛合金零件表面油渍→对钛合金零件进行氩等离子溅射清洗→在钛合金零件上沉积铝涂层。

2.根据权利要求1所述的在钛合金零件上制备高纯度耐腐蚀铝涂层的方法，其特征在于：所述去除钛合金零件表面油渍是将钛合金零件置入超声波清洗设备中20～40分钟后取出干燥。

3.根据权利要求2所述的在钛合金零件上制备高纯度耐腐蚀铝涂层的方法，其特征在于：所述去除钛合金零件表面油渍是将钛合金零件置入超声波清洗设备中30分钟后取出干燥。

4.根据权利要求1所述的在钛合金零件上制备高纯度耐腐蚀铝涂层的方法，其特征在于：所述对钛合金零件进行氩等离子溅射清洗是将钛合金零件置入大功率中频磁控溅射设备的真空室内，抽真空至3.6×10^-3Pa，通入1～2Pa氩气，对钛合金零件进行氩等离子溅射清洗8～12分钟。

5.根据权利要求4所述的在钛合金零件上制备高纯度耐腐蚀铝涂层的方法，其特征在于：所述对钛合金零件进行氩等离子溅射清洗是将钛合金零件置入大功率中频磁控溅射设备的真空室内，抽真空至3.6×10^-3Pa，通入1～2Pa氩气，对钛合金零件进行氩等离子溅射清洗10分钟。

6.根据权利要求4或5所述的在钛合金零件上制备高纯度耐腐蚀铝涂层的方法，其特征在于：所述氩等离子溅射是在钛合金零件上施加-1500V的偏压，使零件与氩气之间产生辉光放电，由辉光放电形成的氩等离子体对钛合金零件进行氩等离子体溅射清洗。

7.根据权利要求1所述的在钛合金零件上制备高纯度耐腐蚀铝涂层的方法，其特征在于：所述在钛合金零件上沉积铝涂层是将钛合金零件置入大功率中频磁控溅射设备的真空室内的同时将99.9%的纯铝也置入真空室作为靶材；对靶材施加8～12A的电流进行预溅射清洗4～6分钟，除去靶材表面的氧化物等杂质；将氩气压强调整至0.5×10^-1Pa～6×10^-1Pa，在零件上施加0～-500V的负偏压，在靶材上施加800V的溅射电压，在＜200℃的温度下沉积1～3小时，在钛合金零件上沉积出厚度为3～12微米的铝涂层；然后依次关闭靶电源，负偏压和氩气流量控制系统。

8.根据权利要求7所述的在钛合金零件上制备高纯度耐腐蚀铝涂层的方法，其特征在于：所述沉积铝涂层是在将钛合金零件置入真空室的同时将99.9%的纯铝也置入真空室作为靶材；对靶材施加10A的电流进行预溅射清洗5分钟，除去靶材表面的氧化物等杂质；将氩气压强调整至10^-1Pa～6×10^-1Pa，在零件上施加150～500V的负偏压，在靶材上施加800V的溅射电压，在180℃的温度下沉积2.5小时，在钛合金零件上沉积出厚度为3～5微米的铝涂层；然后依次关闭靶电源，负偏压和氩气流量控制系统。

9.根据权利要求1所述的在钛合金零件上制备高纯度耐腐蚀铝涂层的方法，其特征在于：在所述的沉积铝涂层步骤之后，再对钛合金零件进行铬酸盐处理得更优异的金黄色高耐腐蚀性铝涂层；所述的铬酸盐处理是将沉积铝涂层后的钛合金零件置入30～40℃的铬酸盐处理液中浸泡8～12秒后取出。

10.根据权利要求9所述的在钛合金零件上制备高纯度耐腐蚀铝涂层的方法，其特征在于：所述的铬酸盐处理是将沉积铝涂层后的钛合金零件置入30～40℃的铬酸盐处理液中浸泡10秒后取出。