[发明专利]开门式单晶炉取棒车有效
申请号: | 201010161412.5 | 申请日: | 2010-04-29 |
公开(公告)号: | CN101824655A | 公开(公告)日: | 2010-09-08 |
发明(设计)人: | 许月明;汪益龙;周岱忠;李晓荣 | 申请(专利权)人: | 杭州富通半导体设备科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所 33206 | 代理人: | 沈绿怡 |
地址: | 311400 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 开门 式单晶炉取棒车 | ||
技术领域:
本发明涉及一种开门式单晶炉配套使用的取棒车。
背景技术:
单晶炉的取棒过程以人工取棒方式为主,而单晶硅棒生产完毕后,其温度 极高,采用人工方式危险系数较高,容易发生烫伤事故以及造成单晶硅棒的跌 落,影响产品质量,而且人工取棒方式精确度较低,单晶硅棒容易摆动,造成 籽晶的断裂,同样会产生质量事故,目前还没有一个较好的办法解决开门式单 晶炉取棒过程中的这些问题。
发明内容:
本发明提供一种开门式单晶炉取棒车,其避免了由于人工取棒所造成的烫伤 事故,保证了产品质量,大大提高取棒的操作精确性,提高生产效率。
本发明是通过如下技术方案来实现的:一种开门式单晶炉取棒车,它有一 个车架,车架底部设有带刹万向轮和定向轮,其主要技术特征是所述的车架上 设有升降系统和水平伸缩夹紧系统:车架上端连接有扶手;升降系统包括上升 踏板、下降踏板、油泵组件、油箱、液压缸、顶杆、升降导杆、导杆支架、导 杆限位板、抱箍和拉杆,其中油箱在车架上部,油泵组件在车架下部,液压缸 在定向轮上方并与车架连接,液压缸上套有抱箍,抱箍通过拉杆与机架连接, 顶杆为液压缸的一部份,油泵组件通过油管与油箱连接,其前部有油泵组件进 出油口,液压缸下部设有液压缸进出油口,导杆限位板与抱箍连接;水平伸缩 夹紧系统包括伸缩手轮、伸缩丝杆、导向筒、伸缩臂、夹紧丝杆、夹紧手轮、 锁紧销、压紧臂、卡紧块、轴销、吊钩、链条、托盘,其中伸缩丝杆一端与伸 缩手轮连接,另一端与伸缩臂连接,伸缩臂在导向筒内,导向筒与顶杆上端连 接,伸缩臂前端设有夹紧丝杆,夹紧丝杆的一端设有锁紧销,并且夹紧丝杆连 接两只压紧臂,两只压紧臂前端分别设有上下两只卡紧块,卡紧块通过轴销与 压紧臂连接,轴销下端连接吊钩,挂在吊钩上的的两根链条下端挂有托盘。
所述的夹紧丝杆的一端设有夹紧手轮。
本发明的有益效果是:采用机械取棒方式取代人工取棒方式,提高生产效 率,避免了人工取棒方式所容易造成的烫伤事故及单晶硅棒的损坏问题,提高 操作精确度,避免单晶硅棒摆动所造成的籽晶轴断裂,提高生产效率。
附图说明:
图1为本发明的主视图;
图2为附图1的左视图;
图3为所述水平伸缩夹紧系统的俯视图。
具体实施方式:
图中:1、下降踏板,2、上升踏板,3、油泵组件,4、车架,5、油箱, 6、扶手,7、拉杆,8、伸缩手轮,9、伸缩丝杆,10、导向筒,11、伸缩臂, 12、夹紧丝杆,14、压紧臂,15、卡紧块,16、轴销,17、吊钩,18、链条, 19、托盘,20、顶杆,21、导向杆支架,22、抱箍,23、液压缸,24、液压 缸进出油口,25、定向轮,26、油泵组件进出油口,27、带刹万向轮,28, 锁紧销,29,夹紧手轮,30升降导杆,31、导杆限位板
参照附图1和附图2,开门式单晶炉取棒车,它有一个车架4,车架4 底部设有带刹万向轮27和定向轮25,其特征在于所述的车架4上设有升降系 统和水平伸缩夹紧系统:车架4上端连接有扶手6,升降系统包括上升踏板2、 下降踏板1、油泵组件3、油箱5、液压缸23、顶杆20、升降导杆30、导杆 支架21、导杆限位板31、抱箍22和拉杆7,其中油箱5在车架4上部,油泵 组件3在车架4下部,连有上升踏板1和下降踏板2,液压缸23在定向轮25 上方并与车架4连接,液压缸上套有抱箍22,抱箍通过拉杆7与车架连接, 顶杆20为液压缸23的一部份,导杆限位板31与抱箍22连接;油泵组件3 通过油管与油箱5连接,其前部有油泵组件进出油口26,液压缸下部设有液 压缸进出油口24。
参照附图1、附图2和附图3,水平伸缩夹紧系统包括伸缩手轮8、伸缩 丝杆9、导向筒10、伸缩臂11、夹紧丝杆12、夹紧手轮29、锁紧销28、压 紧臂14、卡紧块15、轴销16、吊钩17、链条18、托盘19,其中伸缩丝杆9 一端与伸缩手轮8连接,另一端与伸缩臂11连接,伸缩臂在导向筒10内, 导向筒10与顶杆20上端连接,伸缩臂11前端设有夹紧丝杆12,夹紧丝杆 12一侧设有夹紧手轮8和锁紧销28,并且夹紧丝杆12连接两只压紧臂14, 两只压紧臂14前端分别设有卡紧块15,卡紧块15通过轴销16与压紧臂14 连接,轴销16下端连接吊钩17,挂在吊钩17上的两根链条18下端挂有托盘 19。
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