[发明专利]多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法

权利要求书

1.一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法，所述多层复合太阳 能选择性吸收镀层，包括设置在玻璃基底(BJ)表面由内而外依次布置的金 属铝红外反射层(1)，TiN氮化钛阻热扩散层(2)，TiNxOy氮氧化钛选择性 吸收层(3)，和Al₂O₃减反射保护层(4)，该所述吸收镀层的制备方法，包括 金属铝红外反射层(1)、TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层(3)和Al₂O₃减反射 保护层(4)的镀制步骤，其特征在于，还包括TiN氮化钛阻热扩散层(2) 镀制步骤，且依次按照如下程序进行：

a、将经预处理的玻璃基体置入磁控溅射镀膜机的真空镀膜室中，抽真 空至8.5×10^-3Pa后，通入氩气令真空镀膜室内压为0.1Pa，启动金属Al靶， 在玻璃基体表面非反应溅射沉积金属铝红外反射层(1)；

b、启动Ti靶，且在氩气和氮气二者的混合气体中，在金属铝红外反射 层(1)表面，反应溅射沉积TiN阻热扩散层(2)；

c、启动Ti靶，且在氩气、氮气和氧气三者的混合气体中，在TiN阻热 扩散层(2)表面，反应溅射沉积TiNxOy选择性吸收层(3)；

d、采用中频孪生双靶磁控溅射技术，向真空镀膜室内通入氩气和氧气 后启动铝靶，在TiNxOy选择性吸收层(3)表面，反应溅射沉积Al₂O₃减反射 保护层(4)；

所述金属铝红外反射层(1)、TiN阻热扩散层(2)和TiNxOy选择性吸 收层(3)三者的镀层厚度，通过溅射沉积的时间来掌控；

所述TiNxOy选择性吸收层(3)的TiNxOy中的氮气和氧气含量，通过所 述氩气、氮气和氧气三者的混合气体中氮气和氧气的含量来掌控。

2.根据权利要求1所述的多层复合太阳能选择性吸收涂层的制备方法， 其特征在于，启动Al靶和Ti靶的直流电电压在400～600V范围内，电流在 20～40A范围内。