[发明专利]溅镀装置及溅镀方法

权利要求书

1.一种溅镀装置，其用来对待镀工件镀膜，该溅镀装置具有料杆固定架，该料杆固定架用来承载装载有待镀工件的料杆，其特征在于：该料杆的一端沿该料杆径向生长有凸杆，该料杆固定架设置有定位座，该定位座包括一个空心凸柱和连杆机构，该空心凸柱用来收容该料杆生长有凸杆的一端，该连杆机构具有主动杆、传动杆及被动杆，其中该传动杆铰接固定在该空心凸柱上，该主动杆位于该空心凸柱的内部，并且该主动杆及被动杆分别铰接在该传动杆的两端，该料杆对该主动杆施力使该传动杆带动该被动杆运动以使得该被动杆与该凸杆相互交叉。

2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：该定位座在驱动力的带动下能够旋转，并且该定位座通过该料杆与该连杆机构相互交叉的结构来带动该料杆进行旋转。

3.如权利要求1或2所述的溅镀装置，其特征在于：该溅镀装置进一步包括第一腔体、第二腔体以及传动机构，该第一腔体用来对待镀工件进行预热，该第二腔体用来对待镀工件进行溅镀，该第一腔体与第二腔体通过一通道相互连通，在该通道内设置有一阀门用来控制该通道的开启与关闭，在该第一腔体及第二腔体内分别设置有该料杆固定架，该料杆能够在该传动机构的作用下经由该通道在该第一腔体以及第二腔体内的料杆固定架之间进行传送。

4.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该料杆为柱状杆体，该柱状杆体的另一端呈“T”型，在该料杆的杆体上还设置有悬挂架以用来承载待镀工件。

5.如权利要求4所述的溅镀装置，其特征在于：该料杆固定架包括相对设置的环状上承载盘及下承载盘，在该上承载盘及下承载盘之间还设置有若干支撑杆以对其进行支撑固定，该定位座设置在该下承载盘上，与该定位座一一对应的，在该上承载盘的外缘部间隔设置有定位槽，该定位槽用来定位该料杆的“T”型端。

6.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于：该料杆固定架以及该定位座分别连接有一个驱动装置，在驱动装置的带动下，该料杆固定架发生公转，该定位座发生自转，该料杆固定架的公转方向与该定位座的自转方向相同或者相反。

7.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该传动机构是机械手，该机械手设置在该第一腔体内并位于该料杆固定架的中央。

8.一种溅镀方法，其包括如下步骤：

提供一个如权利要求3至7任一项所述的溅镀装置；

将承载有待镀工件的料杆装设在该第一腔体内的料杆固定架上，对该第一腔体进行抽真空；

对第一腔体内的待镀工件进行预热作业；

将完成预热作业的待镀工件经由该第一腔体与第二腔体之间的通道逐个传送到第二腔体内并固定到第二腔体内的料杆固定架上；

关闭该第一腔体与第二腔体之间的通道，对第二腔体内的待镀工件进行溅镀作业；

开启该第一腔体与第二腔体之间的通道，将第二腔体内完成溅镀作业的待镀工件传送至第一腔体内；

关闭该第一腔体与第二腔体之间的通道以保持该第二腔体内的真空状态，取走第一腔体内完成溅镀作业的待镀工件并放入第二批待镀工件。

9.如权利要求8所述的溅镀方法，其特征在于：在待镀工件进行预热作业或者溅镀作业的过程中，该料杆固定架与该料杆发生转动，且该料杆固定架的转动方向与料杆的转动方向相反。