[发明专利]离子浓度测量电路和离子电流传感器无效

专利信息
申请号: 201010155420.9 申请日: 2010-03-03
公开(公告)号: CN102192951A 公开(公告)日: 2011-09-21
发明(设计)人: 德永哲也;入江史崇 申请(专利权)人: 修谷鲁电子机器股份有限公司
主分类号: G01N27/70 分类号: G01N27/70;G01R19/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 胡金珑
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 离子 浓度 测量 电路 电流传感器
【权利要求书】:

1.一种离子浓度测量电路,通过离子电流传感器采集由电晕放电而在放电电极周围产生的离子以测量其浓度,其特征在于,包括:

所述离子电流传感器,其由第一传感器和第二传感器构成,所述第一传感器上由于采集所述离子而流动离子电流且通过由所述放电电极形成的电场而流动感应电流,所述第二传感器上与该第一传感器绝缘地配置,所述第二传感器由于所述电场而在导电性的传感器单元中流动感应电流且将所述传感器部件的表面与周围绝缘以使得所述传感器部件不采集所述离子;以及

检测第一传感器的输出信号和第二传感器的输出信号的差的检测装置。

2.根据权利要求1所述的离子浓度测量电路,其特征在于,

所述检测装置包括:

第一放大装置,对第一传感器的输出信号进行放大;

第二放大装置,对第二传感器的输出信号进行放大;以及

差动放大装置,对第一放大装置的输出信号与第二放大装置的输出信号的差进行放大。

3.一种离子电流传感器,其特征在于,包括:

第一传感器,通过采集由电晕放电而在放电电极周围产生的离子而流动离子电流的同时由所述放电电极形成的电场导致流动感应电流;以及

第二传感器,与该第一传感器绝缘地配置且由于所述电场而在导电性的传感器单元中流动感应电流的同时将所述传感器部件的表面与周围绝缘以使得所述传感器部件不采集所述离子。

4.根据权利要求3所述的离子电流传感器,其特征在于,

在绝缘性的基板上梳齿状交替地配置第一和第二传感器,这些第一和第二传感器经由电缆连接到包括所述放电电极的离子发生器本体上。

5.根据权利要求3所述的离子电流传感器,其特征在于,

一体地形成芯片状的第一和第二传感器,这些第一和第二传感器经由电缆连接到包括所述放电电极的离子发生器本体上。

6.根据权利要求3所述的离子电流传感器,其特征在于,

在包括所述放电电极的离子发生器本体上,夹着所述放电电极而配置第一传感器和第二传感器。

7.一种离子浓度测量电路,通过离子电流传感器采集由电晕放电而在放电电极周围产生的离子以测量其浓度,其特征在于,包括:

所述离子电流传感器,其由采集所述离子而流动离子电流的同时由所述放电电极形成的电场导致流动感应电流的第一传感器,和一端连接在该第一传感器上的电容器构成;以及

检测装置,检测第一传感器的输出信号和从所述电容器的另一端得到的输出信号的差。

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