[发明专利]曲率可控的人工复眼镜头及其制备方法无效
申请号: | 201010154340.1 | 申请日: | 2010-04-24 |
公开(公告)号: | CN101840012A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 刘景全;何庆;杨春生;芮岳峰;李以贵 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | G02B3/10 | 分类号: | G02B3/10;G03F7/00 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人: | 王锡麟;王桂忠 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曲率 可控 人工 复眼 镜头 及其 制备 方法 | ||
1.一种曲率可控的人工复眼镜头,其特征在于,包括:基底和位于基底外表面上的若干小眼构成,其中:小眼为圆形、六边形或者方形结构;
所述的基底和复眼透镜均为聚二甲基硅氧烷材料。
2.一种如权利要求1所述的曲率可控的人工复眼镜头的制备方法,其特征在于,通过采用聚合物制作待复制镜头的凹模,采用双面法将平面复眼透镜阵列制备成曲率可控的人工复眼镜头。
3.根据权利要求2所述的曲率可控的人工复眼镜头的制备方法,其特征是,所述的平面复眼透镜阵列通过以下方式制备得到:首先在硅片衬底上溅射金属作为粘着层,然后在粘着层表面旋涂光刻胶,然后通过光刻处理制成柱状凸起结构,最后置于烘箱中熔化光刻胶,使硅片衬底的表面形成半球形结构的光刻胶凸点,作为平面复眼透镜阵列。
4.根据权利要求3所述的曲率可控的人工复眼镜头的制备方法,其特征是,所述的光刻处理是指:采用圆形、六边形或方形柱复眼阵列作为掩膜板进行光刻。
5.根据权利要求2所述的曲率可控的人工复眼镜头的制备方法,其特征是,所述的粘着层的厚度为100埃,所述溅射金属为铬铜。
6.根据权利要求2或4所述的曲率可控的人工复眼镜头的制备方法,其特征是,所述的光刻是指:对涂有光刻胶的位置进行曝光,然后采用AZ-400K显影液显影180秒去除曝光区域的光刻胶。
7.根据权利要求3所述的曲率可控的人工复眼镜头的制备方法,其特征是,所述的熔化光刻胶是指将烘箱温度设定为175℃~185℃,熔化时间为20~30分钟。
8.根据权利要求2所述的曲率可控的人工复眼镜头的制备方法,其特征是,所述的双面法是指:通过在具有待复制镜头曲率的凹模中添加聚二甲基硅氧烷,并将具有平面复眼透镜阵列的凸模挤压后经加热固化得到曲率可控的人工复眼镜头。
9.根据权利要求8所述的曲率可控的人工复眼镜头的制备方法,其特征是,所述的具有平面复眼透镜阵列的凸模是指:在平面复眼透镜阵列的表面旋涂第一聚二甲基硅氧烷层以复制平面复眼透镜阵列,经酒精浸泡后将第一聚二甲基硅氧烷层的下底面与平面复眼透镜阵列相剥离,然后在该下底面上沉积聚对二甲苯作为疏水剥离层并在疏水剥离层上旋涂第二聚二甲基硅氧烷层作为图形保护层,制成凸模。
10.根据权利要求2或4所述的曲率可控的人工复眼镜头的制备方法,其特征是,所述的具有待复制镜头曲率的凹模是指:在待复制镜头表面旋涂聚二甲基硅氧烷经加热凝固后制成凹模。
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