[发明专利]一种研磨抛光装置

权利要求书

1.研磨抛光装置，包括：

研磨抛光盘，其上表面用于设置研磨抛光介质，所述研磨抛光盘通过第 一驱动部件的驱动绕其自身轴线转动；和

至少一个工件环总成，置于所述研磨抛光盘的上方；所述工件环总成的 中部具有用于内置工件的中心通孔；其特征在于，还包括：

伺服驱动机构，置于所述研磨抛光盘外侧的支架上，驱动所述工件环总 成相对于所述研磨抛光盘运动，以调整所述工件环总成的中心通孔与所述研 磨抛光盘中心之间的径向距离；和

控制器，根据预设控制策略实时输出控制信号至所述伺服驱动机构；

所述工件环总成具体包括：

工件环支撑架，其一端与所述伺服驱动机构的输出部件相连，其另一端 置于所述研磨抛光盘的上方；

工件环，置于所述工件环支撑架的下方，所述工件环与所述研磨抛光盘 上表面大体平行且相分离，所述工件环的外周表面开有环形凹槽；和

至少三个滚轮，每个所述滚轮的轮轴分别设置于所述工件环支撑架上， 且每个滚轮的内侧轮沿分别与所述工件环的环形凹槽相抵。

2.根据权利要求1所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述预设控制 策略根据工件的材质、工件的尺寸、工件的加工余量、研磨抛光介质的材质 和研磨抛光盘的转速确定。

3.根据权利要求1所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述伺服驱动 机构具体为伺服电动机驱动，所述控制器输出的控制信号具体为控制该伺服 电动机的位置控制信号和速度控制信号。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的研磨抛光装置，其特征在于， 所述工件环支撑架上固定设置至少一个第二驱动部件，用于驱动至少一个滚 轮。

5.根据权利要求4所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述工件环总 成还包括：

工件保持架，内置于所述工件环的内孔中，所述工件保持架具有与工件 外形尺寸大致相同的至少一个通孔，所述通孔的中心与工件环内孔同心设置 或者偏心设置。

6.根据权利要求5所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述工件环的 孔壁上具有轴向设置的凸棱，所述工件保持架的外周表面具有与该凸棱相适 配的凹槽，以便于所述工件保持架与工件环一并转动。

7.根据权利要求6所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述工件环的 孔壁上具有径向设置的台阶，所述工件保持架的下表面与该台阶相抵定位。

8.根据权利要求5所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述工件保持 架固定设置在一直线运动或者摆动的伺服驱动机构上，以带动工件沿着研磨 抛光盘的径向位移。

9.根据要求1所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述研磨抛光盘分 别通过相互独立的径向轴承和轴向轴承支撑在支架上；所述轴向轴承的中间 直径为研磨抛光盘外径的0.5～0.6倍。