[发明专利]固体摄像器件、其制造方法以及电子装置

权利要求书

1.一种固体摄像器件，其包括：

至少一个光电转换器，其设于基板的摄像表面，在所述光电转换器的光接收表面接收入射光，并对所述入射光进行光电转换，由此生成信号电荷；

至少一个片上透镜，其设于所述基板的所述摄像表面上，并且位于所述光电转换器的所述光接收表面的上方，将所述入射光聚集在所述光接收表面；以及

防反射层，其设于所述基板的摄像表面上的片上透镜的上表面，

其中，所述防反射层包括折射率比所述片上透镜低的粘合剂树脂和折射率比所述粘合剂树脂低的低折射率粒子。

2.如权利要求1所述的固体摄像器件，其中，所述防反射层包括中空硅粒子作为所述低折射率粒子。

3.如权利要求1所述的固体摄像器件，其中，所述防反射层形成于所述光接收表面上方，随着离所述光接收表面距离的增大，分布的低折射率粒子比所述粘合剂树脂更多。

4.如权利要求3所述的固体摄像器件，其中，所述片上透镜为多个，是从所述光接收表面以凸形向上凸出的凸透镜，设置为彼此相邻，与多个所述光电转换器对应；并且

所述防反射层设置为覆盖所述多个片上透镜的上表面。

5.如权利要求4所述的固体摄像器件，其中，所述防反射层设置为压在所述片上透镜之间的凹部的第一膜厚度比所述片上透镜的以凸形凸出的上部的第二膜厚度大。

6.如权利要求5所述的固体摄像器件，其中，所述防反射层设置于所述片上透镜的所述上表面上，所述防反射层的表面沿所述基板的所述摄像表面方向是平坦的。

7.如权利要求5所述的固体摄像器件，其中，所述防反射层至少包括：

第一防反射层，其设于所述片上透镜的所述上表面上；以及

第二防反射层，其设于所述第一防反射层上；

其中，所述第一防反射层和所述第二防反射层均包含所述低折射率粒子和所述粘合剂树脂；并且

所述第二防反射层包含的所述低折射率粒子比所述第一防反射层包含的所述低折射率粒子多。

8.一种固体摄像器件，其包括：

光电转换器，其设于基板的摄像区域中，在所述光电转换器的光接收表面接收入射光，并对所述入射光进行光电转换，由此生成信号电荷；以及

片上透镜，其设于所述基板的所述摄像区域中，并且位于所述光电转换器的所述光接收表面的上方，将所述入射光聚集在所述光接收表面，

其中，所述片上透镜包含粘合剂树脂和折射率比所述粘合剂树脂低的低折射率粒子。

9.如权利要求8所述的固体摄像器件，其中，所述片上透镜包括中空硅粒子作为所述低折射率粒子。

10.一种电子装置，其包括：

光电转换器，其设于基板的摄像表面，在所述光电转换器的光接收表面接收入射光，并对所述入射光进行光电转换，由此生成信号电荷；

片上透镜，其设于所述基板的所述摄像表面上，并且位于所述光电转换器的所述光接收表面的上方，将所述入射光聚集在所述光接收表面；以及

防反射层，其设于所述基板的所述摄像表面上的所述片上透镜的上表面，

其中，所述防反射层包括折射率比所述片上透镜低的粘合剂树脂和折射率比所述粘合剂树脂低的低折射率粒子。

11.一种电子装置，其包括：

光电转换器，其设于基板的摄像区域中，在所述光电转换器的光接收表面接收入射光，并对所述入射光进行光电转换，由此生成信号电荷；以及

片上透镜，其设于所述基板的所述摄像区域中，并且位于所述光电转换器的所述光接收表面的上方，将所述入射光聚集在所述光接收表面，

其中，所述片上透镜包含粘合剂树脂和折射率比所述粘合剂树脂低的低折射率粒子。

12.一种固体摄像器件的制造方法，该方法包括以下步骤：

在基板的摄像表面设置光电转换器，所述光电转换器在其光接收表面接收入射光，并对所述入射光进行光电转换，由此生成信号电荷；

在所述光电转换器的光接收表面上方设置片上透镜，所述片上透镜将所述入射光聚集在所述光接收表面；以及

在所述片上透镜的上表面设置防反射层，其中，所述防反射层包括折射率比所述片上透镜低的粘合剂树脂和折射率比所述粘合剂树脂低的低折射率粒子。

13.一种固体摄像器件的制造方法，该方法包括以下步骤：

在基板的摄像表面设置光电转换器，所述光电转换器在其光接收表面接收入射光，并对所述入射光进行光电转换，由此生成信号电荷；以及

在所述光电转换器的所述光接收表面的上方设置片上透镜，所述片上透镜将所述入射光聚集在所述光接收表面，其中，所述片上透镜包括粘合剂树脂和折射率比所述粘合剂树脂低的低折射率粒子。