[发明专利]运动感测方法及使用该方法的运动感测装置

权利要求书

1.一种运动感测方法，其特征在于，其包含下列步骤：

提供一光感测组件于一可动件的一侧边，其中该可动件位于一微机电组件内，且该可动件的运动反应该微机电组件的受力；

提供一光源于该可动件、相对于该光感测组件的另一侧边，该光源产生一照射光，照射该可动件，其中该可动件遮挡部分的该照射光，使该照射光局部照射该光感测组件；

自该光感测组件撷取复数个明暗影像；以及分析各该明暗影像中明暗区域的变化，以决定该可动件的运动。

2.如权利要求1所述的运动感测方法，其特征在于，其中该可动件是一质量块或一薄膜，而该质量块或该薄膜具有一开孔，其中该照射光透过该开孔局部照射该光感测组件。

3.如权利要求1所述的运动感测方法，其特征在于，其中该可动件是一质量块，而该部分的该照射光为该质量块的一侧边所遮挡。

4.如权利要求1所述的运动感测方法，其特征在于，其中该可动件是一不透光的弹性组件，该弹性组件是用于支持一质量块的弹性运动，而该部分的该照射光为该弹性组件所遮挡。

5.如权利要求3或4所述的运动感测方法，其特征在于，其中分析各该明暗影像中明暗区域的变化的该步骤包含分析各该明暗影像中一明暗边界的位置变化。

6.如权利要求1至4任一项所述的运动感测方法，其特征在于，其中分析各该明暗影像中明暗区域的变化的该步骤包含分析各该明暗影像中该明暗区域的面积变化或形状变化。

7.一种运动感测装置，其特征在于，包含：

一光感测组件，是用于获取一明暗影像；

一光源，是用于产生投向该光感测组件的一照射光；以及

一质量块，弹性地悬置于该光感测组件与该光源间的该照射光的光路径上，该质量块具有一透光部，其中该照射光透过该透光部局部照射该光感测组件，以产生该明暗影像。

8.如权利要求7所述的运动感测装置，其特征在于，其中该质量块是一非透光材料，而该透光部是一开孔。

9.如权利要求8所述的运动感测装置，其特征在于，其中该开孔的形状是圆形、三角形、四边形、多边形或十字形状。

10.如权利要求9所述的运动感测装置，其特征在于，其中该开孔为圆形，而该开孔的内径介于20至30微米。

11.如权利要求8所述的运动感测装置，其特征在于，其中该开孔为方形，而该开孔各边的长度介于20至30微米。

12.如权利要求7所述的运动感测装置，其特征在于，其中该质量块是一透光材料，而该质量块另包含一不透光层与一形成于该不透光层上的开孔，而该透光部是该开孔。

13.如权利要求12所述的运动感测装置，其特征在于，其中该不透光层是一不透光金属膜。

14.如权利要求12所述的运动感测装置，其特征在于，其中该开孔的形状是圆形、三角形、四边形、多边形或十字形状。

15.如权利要求7所述的运动感测装置，其特征在于，其中该光源是发光二极管或雷射二极管。

16.如权利要求7所述的运动感测装置，其特征在于，其中该光源更包含一屏蔽，该屏蔽上具一开孔，其中该照射光自该开孔射出。

17.如权利要求7所述的运动感测装置，其特征在于，其更包含一第一芯片与一第二芯片，该质量块形成于该第一芯片；该光感测组件形成于该第二芯片，其中该第一芯片与该第二芯片是相键合。

18.如权利要求7所述的运动感测装置，其特征在于，其中该光感测组件是电荷耦合装置影像传感器或互补性氧化金属半导体影像传感器。

19.如权利要求7所述的运动感测装置，其特征在于，其更包含一基板、一不透光层、以及一透明外罩；该不透光层具有一开孔，其中该光感测组件形成于该基板，该不透光层设于该透明外罩的顶面，该光源设于该顶面且位于该开孔处，而该透明外罩键合于该基板且覆盖该质量块。