[发明专利]一种高稳定触发二极管的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体二极管的制造，具体地说是一种高稳定触发二极管的制造方法。

背景技术

经检索有关专利文献，目前尚未检索到与本发明相同的一种高稳定触发二极管的制造方法。随着科技的进步，电器行业正朝着高集成、大功率的方向发展，这给二极管的品质提出了更高的要求。现有触发二极管一般采用多次玻璃烧涂和多次光刻的工艺来制作，由于制作过程中对环境的要求高，而且成本较高，所以生产出的触发二极管的性能可靠性较低，且由于生产过程中采用的保护氮气用量较大，使得其能源消耗大；同时由于生产工艺问题，使生产出的触发二极管在高温状态下的性能不够稳定，所以有必要对现有的触发二极管的生产方法加以改进，以提高产品的性能。

发明内容

本发明的目的是要提供一种能减少氮气的使用，具有节能降耗，且性能可靠的一种高稳定触发二极管的制造方法。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种高稳定触发二极管的制造方法，它包括以下步骤：

(1)将两铜引线电极、焊片、二极管芯片装入工夹具内，送入焊接炉加温，温度t₁为：290℃≤t₁≤305℃，温控时间h₁为：14分钟≤h₁≤16分钟，使用氮气作为焊接时的保护气体；

(2)将步骤(1)的二极管材料随同焊接炉温度缓慢下降至t₂为：95℃≤t₂≤105℃，温控时间h₂为：28分钟≤h₂≤32分钟；

(3)将步骤(2)的二极管材料装人酸洗盘中；

(4)将步骤(3)的二极管材料进行一次酸洗，酸洗液为：HF∶HNO₃∶HAC∶H₂SO₄＝9∶9∶12∶4，腐蚀去除划片机械损伤层，时间h₃为：135秒≤h₃≤155秒；

(5)将步骤(4)的二极管材料用高纯水冲洗，冲洗时间h₄为：50秒≤h₄≤70秒；

(6)将步骤(5)的二极管材料进行二次酸洗，酸洗液为：H₃PO₄∶H₂O₂∶H₂O＝1∶2∶3进行清洗，温度t₃为：58℃≤t₃≤62℃，时间h₅为：50秒≤h₅≤60秒；

(7)将步骤(6)的二极管材料用高纯水冲洗，冲洗时间h₆为：50秒≤h₆≤70秒；

(8)将步骤(7)的二极管材料再经过两道高纯水超声波清洗，清洗时间h₇为：90秒≤h₇≤120秒；

(9)将步骤(8)的二极管材料再经过两道无水乙醇清洗，清洗后用超声波脱水，超声波脱水时间h₈为：50秒≤h₈≤70秒；

(10)将步骤(9)所得的二极管材料排列到铝条上；

(11)将步骤(10)所得的二极管材料连同铝条放入烘箱内烘干，烘干温度t₄为：178℃≤t₄≤182℃，烘干时间h₉为：58分钟≤h₉≤63分钟，去除表面残余水分；

(12)将步骤(11)所得的二极管材料送入上胶机，依次对每支二极管芯片表面涂覆一层硅绝缘胶，使其表面绝缘；

(13)将步骤(12)所得的二极管材料送入烘箱内烘干，烘干温度t₅为：198℃≤t₅≤202℃，烘干时间h₁₀为8小时，使其固化；

(14)将步骤(13)所得的二极管材料放置注塑模中，用环氧树脂注塑到其外围，初步成型；

(15)将步骤(14)所得的二极管材料送入烘箱内烘干，烘干温度t₆为：178℃≤t₆≤182℃，烘干时间h₁₁为7小时，使其完全固化；

(16)将步骤(15)所得的二极管材料的两铜线电极电镀上锡，使两电极在使用过程中易于焊接；

(17)将电镀时弯曲的两电极引线抹直；

(18)对部件进行检测，并包装得成品。