[发明专利]透射电镜微栅的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法，尤其涉及一种基于碳纳米管结构的透射电镜微栅的制备方法。

背景技术

在透射电子显微镜中，微栅是用于承载粉末样品，进行透射电子显微镜高分辨像(HRTEM)观察的重要工具。现有技术中，透射电子显微镜的微栅通常是在铜网或镍网等金属网格上覆盖一层多孔有机膜，再蒸镀一层非晶碳膜制成的。然而，在实际应用中，当采用上述微栅对被测样品的透射电镜高分辨像进行成份分析时，尤其在观察尺寸比较小的纳米颗粒，如小于5纳米的颗粒的透射电镜高分辨像时，微栅中的非晶碳膜对纳米颗粒的透射电镜高分辨像的干扰比较大。

自九十年代初以来，以碳纳米管(请参见Helical microtubules of graphiticcarbon，Nature，Sumio Iijima，vol 354，p56(1991))为代表的纳米材料以其独特的结构和性质引起了人们极大的关注。将碳纳米管应用于微栅的制作，有利于降低非晶碳膜对被测样品成份分析的干扰。然而，由于碳纳米管的质量比较轻，在应用于微栅时容易发生飘移，从而影响了透射电镜的分辨率以及测量的准确性。

发明内容

有鉴于此，确有必要提供一种能够防止碳纳米管结构飘移的透射电镜微栅的制备方法。

一种透射电镜微栅的制备方法，包括以下步骤：提供一载体，所述载体具有第一通孔；提供一碳纳米管结构，将该碳纳米管结构覆盖所述载体的第一通孔；以及提供一固定体，所述固定体具有第二通孔，将所述固定体与所述载体层层叠设置，使所述碳纳米管结构固定于所述载体和所述固定体之间。

一种透射电镜微栅的制备方法，包括以下步骤：提供一载体以及一固定体，所述载体具有多个第一通孔，所述固定体具有多个第二通孔，所述载体与固定体之间具有一连接处，在该连接处形成有一折叠部，该载体与固定体通过该折叠部活动连接；提供一碳纳米管结构，将该碳纳米管结构覆盖所述载体的第一通孔；以及通过所述折叠部将所述固定体与载体层叠设置，使碳纳米管结构固定于所述载体和所述固定体之间。

一种透射电镜微栅的制备方法，包括以下步骤：提供多个载体，该多个载体间隔设置于一基底表面，每个载体具有一第一通孔；提供一碳纳米管结构，将该碳纳米管结构覆盖所述多个载体的第一通孔；提供多个固定体，每个固定体具有一第二通孔，并将该每个固定体与所述载体一一对应层叠设置，使得所述碳纳米管结构固定于所述多个载体和所述多个固定体之间；以及断开所述多个载体之间的碳纳米管结构，从而形成多个透射电镜微栅。

与现有技术相比较，由本发明提供的透射电镜微栅的制备方法制备的透射电镜微栅通过将所述碳纳米管结构设置于所述载体及固定体之间，可以防止在使用所述透射电镜微栅过程中，夹持该透射电镜微栅的器具与所述碳纳米管结构直接接触，而由于碳纳米管结构的质量较轻引起该碳纳米管结构的飘移，以消除微栅在使用过程中碳纳米管结构容易飘移的现象，从而提高透射电镜的分辨率及准确性。

附图说明

图1是本发明第一实施例提供的透射电镜微栅的立体分解图。

图2是本发明第一实施例提供的透射电镜微栅的立体图。

图3是本发明第二实施例提供的透射电镜微栅的立体分解图。

图4是本发明第二实施例提供的透射电镜微栅的立体图。

图5是本发明第三实施例提供的透射电镜微栅的立体分解图。

图6是本发明第三实施例提供的透射电镜微栅的立体图。

图7是本发明第四实施例提供的透射电镜微栅的立体分解图。

图8是本发明第四实施例提供的透射电镜微栅的立体图。

图9是本发明第五实施例提供的透射电镜微栅的立体分解图。

图10是本发明第五实施例提供的透射电镜微栅的立体图。

图11是本发明第五实施例提供的透射电镜微栅的制备流程图。

图12是本发明第六实施例提供的透射电镜微栅中的载体及固定体的立体图。

图13是本发明第六实施例的透射电镜微栅的剖面图。

图14是本发明第六实施例的透射电镜微栅的制备流程图。

主要元件符号说明

透射电镜微栅                    10；20；30；40；50；60

载体                            110；210；310；410；510；610

第一圆片状本体                  111；211；311；511；611