[发明专利]一种光学成像器件结构有效
申请号: | 201010145203.1 | 申请日: | 2010-04-09 |
公开(公告)号: | CN102214663A | 公开(公告)日: | 2011-10-12 |
发明(设计)人: | 冀永辉;丁川;刘明;王琴;龙世兵;闫锋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学 成像 器件 结构 | ||
1.一种光学成像器件结构,其特征在于,该结构是由多个结构完全相同的成像器件构成的成像阵列,该多个成像器件被分为若干组,每一组中的成像器件具有相同的数目和相同的排列结构,且每组成像器件均包括一个参考单元和至少一个成像单元,该参考单元和成像单元是结构完全相同的成像器件,每组成像器件中的参考单元和成像单元相距近,工艺偏差小,在执行复位、成像、读取操作时受到的共模干扰相同。
2.根据权利要求1所述的光学成像器件结构,其特征在于,所述成像器件是基于传统的浮栅型成像器件结构,由硅衬底B、源极S、漏极D、浮动栅极FG、控制栅极CG构成,其中,硅衬底B位于器件最下层;源极S和漏极D位于硅衬底B上,且相距一定距离;浮动栅极FG位于器件结构的中间层,在硅衬底之上,且在源极S和漏极D之间;控制栅极CG位于器件结构的最上层,在浮动栅极FG之上;该硅衬底B与该浮动栅极FG之间,以及该浮动栅极FG与该控制栅极CG之间都采用绝缘层隔离。
3.根据权利要求1所述的光学成像器件结构,其特征在于,所述每组成像器件包括一个参考单元C0和一个成像单元C1,该参考单元C0和成像单元C1是结构完全相同的成像器件,该参考单元C0和该成像器件C1相邻排列且位于成像阵列中的同一列或同一行。
4.根据权利要求1所述的光学成像器件结构,其特征在于,所述每组成像器件包括一个参考单元和两个成像单元,该参考单元C0、第一成像单元C1和第二成像单元C2是结构完全相同的成像器件,该参考单元C0位于第一成像单元C1与第二成像单元C2的中间,第一成像单元C 1和第二成像单元C2相对于参考单元C0呈对称分布,并且参考单元C0、第一成像单元C1和第二成像单元C2分布在同一列或同一行上。
5.根据权利要求1所述的光学成像器件结构,其特征在于,所述每组成像器件包括一个参考单元和三个成像单元,该参考单元C0、第一成像单元C1、第二成像单元C2和第三成像单元C3是结构完全相同的成像器件,该参考单元C0位于第一成像单元C1与第二成像单元C2的中间,第一成像单元C1和第二成像单元C2相对于参考单元C0呈对称分布,并且参考单元C0、第一成像单元C1和第二成像单元C2分布在同一列或同一行上;
若参考单元C0、第一成像单元C1和第二成像单元C2排列在同一行上,第三成像单元C3则排列在位于参考单元C0同一列上且与参考单元C0相邻的位置;
若参考单元C0、第一成像单元C1和第二成像单元C2位于同一列上,第三成像单元C3则位于参考单元C0的同一行上且与参考单元C0相邻的位置。
6.根据权利要求1所述的光学成像器件结构,其特征在于,所述每组成像器件包括一个参考单元和四个成像单元,该参考单元C0、第一成像单元C1、第二成像单元C2、第三成像单元C3和第四成像单元C4是结构完全相同的成像器件,该参考单元C0位于第一成像单元C1与第二成像单元C2的中间,第一成像单元C1和第二成像单元C2相对于参考单元C0呈对称分布,并且参考单元C0、第一成像单元C1和第二成像单元C2分布在同一列或同一行上;若参考单元C0、第一成像单元C1和第二成像单元C2排列在同一行上,第三成像单元C3则排列在位于参考单元C0同一列上且与参考单元C0相邻的位置;若参考单元C0、第一成像单元C1和第二成像单元C2位于同一列上,第三成像单元C3则位于参考单元C0的同一行上且与参考单元C0相邻的位置;
第四成像单元C4位于与参考单元C0和成像单元C3的同一行或同一列上,且位置与成像单元C3一起相对于参考单元C0对称,因此,第一成像单元C1、参考单元C0、第二成像单元C2的分布与第三成像单元C3、参考单元C0、第四成像单元C4的分布都位于同一条直线上;若第一成像单元C1、参考单元C0、第二成像单元C2分布于同一行上,则第三成像单元C3、参考单元C0、第四成像单元C4分布于同一列上;反之若第一成像单元C1、参考单元C0、第二成像单元C2分布于同一列上,则第三成像单元C3、参考单元C0、第四成像单元C4分布于同一行上。
7.根据权利要求1所述的光学成像器件结构,其特征在于,所述每组成像器件包括一个参考单元和至少五个的成像单元,而每组中的成像单元的部分分布在与参考单元相同的列上,而其他成像单元则分布在与参考单元相同的行上。
8.根据权利要求1所述的光学成像器件结构,其特征在于,所述每组成像器件包括九个完全相同的基于传统的浮栅型器件结构的成像器件,这九个成像器件构成一个三行、三列的阵列,其中位于最中心的,第二行、第二列的器件作为这一组器件的参考单元C0,其余八个器件作为成像单元。
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