[发明专利]感光性组合物、感光性树脂转印薄膜和树脂图案有效
申请号: | 201010144891.X | 申请日: | 2010-03-29 |
公开(公告)号: | CN101852990A | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
发明(设计)人: | 后藤英范;山崎健太;吉成伸一;下村彰宏;柏木大助 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/00;G03F7/16;G02F1/1333 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朱丹 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 组合 树脂 薄膜 图案 | ||
1.一种感光性组合物,其特征在于,
至少含有在侧链具有酸性基的树脂(A)、至少含有下述化合物B1及化合物B2的聚合性化合物(B)及光聚合引发剂(C),相对聚合性化合物(B)的合计量的该化合物B1及化合物B2的含有率W1质量%及W2质量%同时满足下述式(1)及式(2),
0.6≤W2/W1≤3.0 ....(1)
63%≤W1+W2≤100% ....(2)
化合物B1:
其中,X表示氢原子或H2C=CR-CO-,分子中的X的至少4个表示H2C=CR-CO-,R表示氢原子或碳数1~4的烃基,
化合物B2:
其中,X表示氢原子或H2C=CR-CO-,分子中的X的至少6个表示H2C=CR-CO-,R表示氢原子或碳数1~4的烃基。
2.根据权利要求1所述的感光性组合物,其特征在于,
所述聚合性化合物(B)的相对树脂(A)的质量比(B)/(A)为0.5~2。
3.一种感光性树脂转印薄膜,其特征在于,
在临时支撑体上至少具有使用权利要求1或权利要求2所述的感光性组合物形成的感光性树脂层。
4.根据权利要求3所述的感光性树脂转印薄膜,其特征在于,
在所述感光性树脂层与所述临时支撑体之间具有阻氧层及/或热塑性树脂层。
5.一种树脂图案的制造方法,其特征在于,
具有涂布权利要求1或权利要求2所述的感光性组合物从而在支撑体上形成感光性树脂层的工序。
6.一种树脂图案的制造方法,其特征在于,
具有使用权利要求3所述的感光性树脂转印薄膜,通过加热及/或加压转印感光性树脂层,从而在支撑体上形成感光性树脂层的工序。
7.一种树脂图案的制造方法,其特征在于,具有:
使用权利要求1或权利要求2所述的感光性组合物在支撑体上形成感光性树脂层的工序,
对所述感光性树脂层进行曝光的曝光工序,
对已被曝光的所述感光性树脂层进行显影的显影工序,和
加热已被显影的图案的工序。
8.一种树脂图案的制造方法,其特征在于,具有:
使用权利要求3所述的感光性树脂转印薄膜在支撑体上形成感光性树脂层的工序,
对所述感光性树脂层进行曝光的曝光工序,
对已被曝光的所述感光性树脂层进行显影的显影工序,和
加热已被显影的图案的工序。
9.一种树脂图案,其是利用权利要求5所述的树脂图案的制造方法制造的。
10.一种液晶显示装置用基板,其特征在于,
具备权利要求9所述的树脂图案。
11.一种液晶显示装置,其特征在于,
具备权利要求10所述的液晶显示装置用基板。
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