[发明专利]感光性组合物、感光性树脂转印薄膜和树脂图案有效

专利信息
申请号: 201010144891.X 申请日: 2010-03-29
公开(公告)号: CN101852990A 公开(公告)日: 2010-10-06
发明(设计)人: 后藤英范;山崎健太;吉成伸一;下村彰宏;柏木大助 申请(专利权)人: 富士胶片株式会社
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;G03F7/00;G03F7/16;G02F1/1333
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 朱丹
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 感光性 组合 树脂 薄膜 图案
【权利要求书】:

1.一种感光性组合物,其特征在于,

至少含有在侧链具有酸性基的树脂(A)、至少含有下述化合物B1及化合物B2的聚合性化合物(B)及光聚合引发剂(C),相对聚合性化合物(B)的合计量的该化合物B1及化合物B2的含有率W1质量%及W2质量%同时满足下述式(1)及式(2),

0.6≤W2/W1≤3.0             ....(1)

63%≤W1+W2≤100%          ....(2)

化合物B1:

其中,X表示氢原子或H2C=CR-CO-,分子中的X的至少4个表示H2C=CR-CO-,R表示氢原子或碳数1~4的烃基,

化合物B2:

其中,X表示氢原子或H2C=CR-CO-,分子中的X的至少6个表示H2C=CR-CO-,R表示氢原子或碳数1~4的烃基。

2.根据权利要求1所述的感光性组合物,其特征在于,

所述聚合性化合物(B)的相对树脂(A)的质量比(B)/(A)为0.5~2。

3.一种感光性树脂转印薄膜,其特征在于,

在临时支撑体上至少具有使用权利要求1或权利要求2所述的感光性组合物形成的感光性树脂层。

4.根据权利要求3所述的感光性树脂转印薄膜,其特征在于,

在所述感光性树脂层与所述临时支撑体之间具有阻氧层及/或热塑性树脂层。

5.一种树脂图案的制造方法,其特征在于,

具有涂布权利要求1或权利要求2所述的感光性组合物从而在支撑体上形成感光性树脂层的工序。

6.一种树脂图案的制造方法,其特征在于,

具有使用权利要求3所述的感光性树脂转印薄膜,通过加热及/或加压转印感光性树脂层,从而在支撑体上形成感光性树脂层的工序。

7.一种树脂图案的制造方法,其特征在于,具有:

使用权利要求1或权利要求2所述的感光性组合物在支撑体上形成感光性树脂层的工序,

对所述感光性树脂层进行曝光的曝光工序,

对已被曝光的所述感光性树脂层进行显影的显影工序,和

加热已被显影的图案的工序。

8.一种树脂图案的制造方法,其特征在于,具有:

使用权利要求3所述的感光性树脂转印薄膜在支撑体上形成感光性树脂层的工序,

对所述感光性树脂层进行曝光的曝光工序,

对已被曝光的所述感光性树脂层进行显影的显影工序,和

加热已被显影的图案的工序。

9.一种树脂图案,其是利用权利要求5所述的树脂图案的制造方法制造的。

10.一种液晶显示装置用基板,其特征在于,

具备权利要求9所述的树脂图案。

11.一种液晶显示装置,其特征在于,

具备权利要求10所述的液晶显示装置用基板。

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