[发明专利]一种大口径石英玻璃基板的复合磨削方法

权利要求书

1.一种大口径石英玻璃基板的复合磨削方法，其特征在于它包括以下步骤：

(1)将专用砂轮安装在立式端面磨床上对其预磨进行精密整形直至专用砂轮的面型精度达到预定的形状精度要求；

(2)将经过粗加工的石英玻璃基板，清洗后安装在立式端面磨床主轴上；

(3)启动立式端面磨床主轴带动石英玻璃基板旋转，利用专用磨削液喷射石英玻璃基板表面，使石英玻璃基板表面和专用磨削液间发生充分的化学反应；

(4)启动砂轮轴带动专用砂轮旋转，驱动主轴带动石英玻璃基板进给，同时使砂轮轴作左右往返运动实现对石英玻璃基板整个表面的均匀磨削，磨削过程中控制石英玻璃基板与专用砂轮间的磨削压力，使专用砂轮以恒压的方式对石英玻璃基板进行材料去除，磨削过程中专用磨削液持续喷射石英玻璃基板表面；

(5)观察石英玻璃基板被加工表面，当整个表面都被磨削到以后，再继续无进给加工至少5min后，按照石英玻璃基板-专用砂轮-专用磨削液的顺序停止加工，将石英玻璃基板卸下来后，重复步骤(2)～(4)完成石英玻璃基板另一侧表面的加工；

(6)将完成两侧表面加工的石英玻璃基板利用乙醇乙醚混合液清洗后，再放入超声波清洗装置清洗；清洗后的石英玻璃基板放入干燥装置进行干燥，完成玻璃基板的加工工序；

所述的专用砂轮以体积百分比计由以下组分组成：磨料20～35％，结合剂40～50％，气孔15～40％，结合剂采用添加了质量百分比为2～10％碳酸盐的酚醛树脂或改性环氧树脂，磨料采用氧化铈；

所述的专用磨削液的组分以重量百分比计由0.5～1.5％的磷酸钠、0.5～2％的三乙醇胺、0.5～1.5％的丙三醇，5～10％的硝酸锌和85～93.5％的纯净水组成。

2.根据权利要求1所述的大口径石英玻璃基板的复合磨削方法，其特征在于：所述的步骤(4)中以恒压的方式对玻璃基板进行加工，压力的范围控制在30-120kPa。

3.根据权利要求1所述的大口径石英玻璃基板的复合磨削方法，其特征在于：在所述的步骤(3)中加工前石英玻璃基板表面和专用磨削液间化学反应时间控制在3-10分钟。