[发明专利]二维图像形成装置

权利要求书

1.一种二维图像形成装置，其特征在于包括：

至少一个激光光源；

射束偏向单元，使从上述激光光源射出的光束的前进方向改变；

驱动单元，驱动上述射束偏向单元，使从上述射束偏向单元射出的光束的前进方向 随时间而变化；

柱状积分器，使通过上述射束偏向单元而被偏向的光束一边向其内部反射一边导向 射出端；

第1投影光学系统，将从上述柱状积分器射出的光束进行投影；

二维空间光调制元件，对从上述第1投影光学系统射出的光束进行调制；

第2投影光学系统，将从上述二维空间光调制元件射出的光投影到指定的面上，其 中，

上述射束偏向单元及上述驱动单元包括二维地驱动镜部的MEMS镜，

上述MEMS镜包括：

镜保持部，其从左右方向通过梁部件而得以支撑；

中央镜部，其从上下方向通过梁部件而与上述镜保持部连接，

上述镜保持部以左右旋转轴为中心上下方向倾斜，上述中央镜部以上下旋转轴为中 心左右方向倾斜，

从所述激光光源射出的光束没有被放大，利用所述柱状积分器使光束的强度分布为 一定。

2.根据权利要求1所述的二维图像形成装置，其特征在于：上述二维空间光调制元件 是反射型的二维空间光调制元件。

3.根据权利要求1所述的二维图像形成装置，其特征在于：

上述激光光源包括分别发出蓝色光、绿色光、红色光的3个激光光源；

上述射束偏向单元、上述柱状积分器、上述第1投影光学系统、上述二维空间光调制 元件，是针对上述3个激光光源而分别予以配置。

4.根据权利要求1所述的二维图像形成装置，其特征在于还包括：光合成单元，其 中，

上述激光光源包括分别发出蓝色光、绿色光、红色光的3个激光光源；

上述光合成单元，合成来自上述3个激光光源的光；

由上述光合成单元合成的光，射入上述射束偏向单元。