[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及致动器无效
| 申请号： | 201010143229.2 | 申请日： | 2010-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN101844440A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 角浩二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045;H01L41/18 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 陈海红;周春燕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液体 喷射 装置 以及 致动器 | ||
1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：流路形成基板，其形成有与喷射液滴的喷嘴相连通的压力发生室；以及压电元件，其设置于该流路形成基板上并使所述压力发生室产生压力变化，该压电元件包括含有钛(Ti)以及锆(Zr)的压电体层和分别设置在该压电体层的两侧的第一电极及第二电极，
其中，所述压电体层中所含的锆和钛的组分比Ti/(Zr+Ti)在0.50以上且0.60以下的范围内并且该压电体层的至少形成于所述第一电极上的部分含有菱面体晶系的晶体。
2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，
所述压电体层中所含的菱面体晶系的晶体，是由于从基底层受到的应力而相变而成的晶体。
3.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，
所述压电体层是层叠多层的压电体膜而成的层，所述第一电极侧的至少最外层的所述压电体膜包含菱面体晶系的晶体。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的液体喷射头，其特征在于，
所述压电体层包括具有钙钛矿结构的材料。
5.根据权利要求4所述的液体喷射头，其特征在于，
所述压电体层由钛酸锆酸铅(PZT)形成。
6.一种液体喷射装置，其特征在于，具备权利要求1至5中的任意一项所述的液体喷射头。
7.一种致动器，其特征在于，具备：
压电元件，其包括含有钛(Ti)以及锆(Zr)的压电体层和分别设置在该压电体层的两侧的第一电极及第二电极，
其中，所述压电体层中所含的锆和钛的组分比Ti/(Zr+Ti)为0.50以上且0.60以下并且该压电体层的至少形成于所述第一电极上的部分含有菱面体晶系的晶体。
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