[发明专利]基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源有效
| 申请号： | 201010142644.6 | 申请日： | 2010-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN101814860A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 丑修建;张文栋;薛晨阳;刘俊;熊继军;张斌珍;牛康康;耿文平 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | H02N2/18 | 分类号： | H02N2/18;H02K35/00 |
| 代理公司： | 山西太原科卫专利事务所 14100 | 代理人： | 朱源;骆洋 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 压电效应 电磁感应 现象 振动 驱动 复合 电源 | ||
1.一种基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源，包括基 底(1)、采用微机电器件加工工艺在半导体衬底上加工出的：外围基座(2)、 单端与外围基座(2)固定的悬臂梁(3)、与悬臂梁(3)另一端固定的质量块 (4)，基底(1)与外围基座(2)的下表面键合固定，质量块(4)通过悬臂 梁(3)支悬于基底(1)的正上方，其特征在于：质量块(4)中央开设有竖 直通孔(5)，且质量块(4)的上表面和/或下表面上应用微机电器件加工工艺 加工有绕竖直通孔(5)设置的感应线圈(6)；基底(1)上表面与质量块(4) 竖直通孔(5)正对处键合固定有与基底(1)垂直的微型永久性柱状磁体(7)， 质量块(4)上的感应线圈(6)处于微型永久性柱状磁体(7)的上方，或者 通过质量块(4)的竖直通孔(5)套置于微型永久性柱状磁体(7)的上部； 悬臂梁(3)上设有PZT压电薄膜(8)；外围基座(2)上设置有若干外接引 线键合焊盘，感应线圈(6)两端和PZT压电薄膜(8)的两极化表面分别经 引线与相应的外接引线键合焊盘连接。
2.根据权利要求1所述的基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复 合微电源，其特征在于：所述悬臂梁(3)与质量块(4)采用四悬臂梁-中心 质量块结构，且四悬臂梁上皆设有PZT压电薄膜(8)。
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