[发明专利]高精度可调速直线型微位移工作台

权利要求书

1.一种高精度可调速直线型微位移工作台，具有微驱动单元(3)、承载板(2、4)、导向装置(6、7)和基体(9)，其特征是，微驱动单元(3)由相互平行且共面布置的第一、第二、第三压电陶瓷驱动器(11、14、16)、第一、第二、第三调整片(12、13、15)、平面三联柔顺结构(10)和摩擦触角(17)组合而成；其中：第一压电陶瓷驱动器(11)和第一调整片(12)、第三压电陶瓷驱动器(16)和第三调整片(15)分别对应安装在平面三联柔顺结构(10)的左、右椭圆形柔顺结构(c、f)中，第二压电陶瓷驱动器(14)和第二调整片(13)放置在单稳态柔顺结构(d)中；摩擦触角(17)固结在平面三联柔顺结构(10)中心轴上的一端；平面三联柔顺结构(10)中的左、右椭圆形柔顺结构(c、f)以及单稳态柔顺结构(d)、四足柔性支撑梁(e)呈中心对称分布；上承载板(2)和微驱动单元(3)通过紧定螺栓(1)连接到下承载板(4)上，下承载板(4)通过紧定螺钉(5)连接到导向装置滑块(7)上，导向装置导轨(6)用调整螺钉(8)将连接在L型基体承载面(a)上；通过调整螺钉(8)调整，使摩擦触角(17)与L型基体摩擦面(b)垂直相对，并保持5μm间距。