[发明专利]一种超薄芯片的倒装式封装方法以及封装体有效

专利信息
申请号: 201010135510.1 申请日: 2010-03-30
公开(公告)号: CN101807532A 公开(公告)日: 2010-08-18
发明(设计)人: 张江元;柳丹娜;李志宁 申请(专利权)人: 上海凯虹科技电子有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/60;H01L23/492
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 翟羽
地址: 201612 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 超薄 芯片 倒装 封装 方法 以及
【权利要求书】:

1.一种超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,包括如下步骤:

提供一晶圆,所述晶圆的正面具有多个待封装的芯片结构;

在晶圆正面的芯片结构上的焊盘上粘贴导电薄膜,所述导电薄膜的上下表 面均具有粘性,所述导电薄膜是含有金属成分的树脂薄膜;

将粘贴有导电薄膜的晶圆切割成独立的芯片;

将导电薄膜与引线框架对应的引脚相互对准,从而将芯片粘贴在引线框架 上。

2.根据权利要求1所述的超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,所述金 属为银。

3.根据权利要求1或2所述的超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,所 述导电薄膜层中进一步含有焊料。

4.根据权利要求1所述的超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,所述导 电薄膜的厚度范围是10μm至50μm。

5.根据权利要求1所述的超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,所述在 晶圆正面粘贴导电薄膜的步骤进一步包括:

提供一支撑层;

在所述支撑层的表面上形成一层连续的导电薄膜;

图形化所述导电薄膜,使其位置和形状与晶圆正面焊盘相互对应;

将晶圆正面的焊盘与图形化的导电薄膜相互对准,从而将晶圆粘贴在所述 支撑层的表面上;

将支撑层移除,从而将图形化的导电薄膜粘贴在晶圆表面的焊盘上。

6.根据权利要求5所述的超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,所述导 电薄膜的两个表面具有不同的粘附强度,并采用粘附强度较低的一个表面 与支撑层相互粘贴,以有利于粘贴晶圆后将支撑层移除。

7.一种采用权利要求1所述的方法形成的封装体,包括引线框架以及粘贴在 引线框架上的芯片,所述芯片的焊盘朝向引线框架,其特征在于,在芯片 的焊盘与引线框架的引脚之间设置有导电薄膜,所述导电薄膜的上下表面 均具有粘性,以粘合引线框架和芯片,所述导电薄膜是含有金属成分的树 脂薄膜。

8.根据权利要求7所述的封装体,其特征在于,所述导电薄膜的厚度范围是 10μm至50μm。

9.根据权利要求7所述的封装体,其特征在于,所述金属为银。

10.根据权利要求7所述的封装体,其特征在于,所述导电薄膜层中进一步含 有焊料。

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