[发明专利]一种超薄芯片的倒装式封装方法以及封装体有效
申请号: | 201010135510.1 | 申请日: | 2010-03-30 |
公开(公告)号: | CN101807532A | 公开(公告)日: | 2010-08-18 |
发明(设计)人: | 张江元;柳丹娜;李志宁 | 申请(专利权)人: | 上海凯虹科技电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60;H01L23/492 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 201612 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 超薄 芯片 倒装 封装 方法 以及 | ||
1.一种超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,包括如下步骤:
提供一晶圆,所述晶圆的正面具有多个待封装的芯片结构;
在晶圆正面的芯片结构上的焊盘上粘贴导电薄膜,所述导电薄膜的上下表 面均具有粘性,所述导电薄膜是含有金属成分的树脂薄膜;
将粘贴有导电薄膜的晶圆切割成独立的芯片;
将导电薄膜与引线框架对应的引脚相互对准,从而将芯片粘贴在引线框架 上。
2.根据权利要求1所述的超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,所述金 属为银。
3.根据权利要求1或2所述的超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,所 述导电薄膜层中进一步含有焊料。
4.根据权利要求1所述的超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,所述导 电薄膜的厚度范围是10μm至50μm。
5.根据权利要求1所述的超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,所述在 晶圆正面粘贴导电薄膜的步骤进一步包括:
提供一支撑层;
在所述支撑层的表面上形成一层连续的导电薄膜;
图形化所述导电薄膜,使其位置和形状与晶圆正面焊盘相互对应;
将晶圆正面的焊盘与图形化的导电薄膜相互对准,从而将晶圆粘贴在所述 支撑层的表面上;
将支撑层移除,从而将图形化的导电薄膜粘贴在晶圆表面的焊盘上。
6.根据权利要求5所述的超薄芯片的倒装式封装方法,其特征在于,所述导 电薄膜的两个表面具有不同的粘附强度,并采用粘附强度较低的一个表面 与支撑层相互粘贴,以有利于粘贴晶圆后将支撑层移除。
7.一种采用权利要求1所述的方法形成的封装体,包括引线框架以及粘贴在 引线框架上的芯片,所述芯片的焊盘朝向引线框架,其特征在于,在芯片 的焊盘与引线框架的引脚之间设置有导电薄膜,所述导电薄膜的上下表面 均具有粘性,以粘合引线框架和芯片,所述导电薄膜是含有金属成分的树 脂薄膜。
8.根据权利要求7所述的封装体,其特征在于,所述导电薄膜的厚度范围是 10μm至50μm。
9.根据权利要求7所述的封装体,其特征在于,所述金属为银。
10.根据权利要求7所述的封装体,其特征在于,所述导电薄膜层中进一步含 有焊料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造